ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering
นักวิจัย : Mati Horprathum , Pongpan Chindaudom , Puenisara Limnonthakul , Pitak Eiamchai , Noppadon Nuntawong , Viyapol Patthanasettakul , Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , มติ ห่อประทุม , พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , ภูนิศรา ลิ้มนนท์กุล , พิทักษ์ เอี่ยมชัย , นพดล นันทวงศ์
คำค้น : Optical properties , Photo-induced hydrophilic , Physical sciences , Plasma physics , Sputtering , Thin films , Titanium dioxide , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สปัตเตอริง , ไททาเนียมไดออกไซด์
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2553
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/22987
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

TiO2 thin films were deposited on unheated silicon wafers (100) and glass slides by a pulsed DC reactive magnetron sputtering in an ultrahigh vacuum (UHV) system. The effects of both an operating pressure and deposition time on film structure, surface morphology, and optical property were studied. The film structure and microstructure were characterized by grazing-incidence X-ray diffraction (GIXRD) technique and transmission electron microscopy (TEM). The surface morphology was investigated by field emission scanning electron microscopy (FE-SEM). The optical property of the TiO2 thin films was determined by spectroscopic ellipsometry (SE). The water contact angle measurement was also used to determine hydrophilicity of the films after exposed to UV light. The results suggested that the TiO2 thin film at less than 40 nm was amorphous. As the thickness was increased, the mixture of anatase and rutile phases of TiO2 began to form. By reducing the operating pressure during the film deposition, the rutile phase component can also be enhanced. Both the increased film thickness and decrease operating pressure were the critical factors to improve the hydrophilicity of the TiO2 thin films.

บรรณานุกรม :
Mati Horprathum , Pongpan Chindaudom , Puenisara Limnonthakul , Pitak Eiamchai , Noppadon Nuntawong , Viyapol Patthanasettakul , Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , มติ ห่อประทุม , พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , ภูนิศรา ลิ้มนนท์กุล , พิทักษ์ เอี่ยมชัย , นพดล นันทวงศ์ . (2553). Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Mati Horprathum , Pongpan Chindaudom , Puenisara Limnonthakul , Pitak Eiamchai , Noppadon Nuntawong , Viyapol Patthanasettakul , Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , มติ ห่อประทุม , พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , ภูนิศรา ลิ้มนนท์กุล , พิทักษ์ เอี่ยมชัย , นพดล นันทวงศ์ . 2553. "Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Mati Horprathum , Pongpan Chindaudom , Puenisara Limnonthakul , Pitak Eiamchai , Noppadon Nuntawong , Viyapol Patthanasettakul , Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , มติ ห่อประทุม , พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , ภูนิศรา ลิ้มนนท์กุล , พิทักษ์ เอี่ยมชัย , นพดล นันทวงศ์ . "Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2553. Print.
Mati Horprathum , Pongpan Chindaudom , Puenisara Limnonthakul , Pitak Eiamchai , Noppadon Nuntawong , Viyapol Patthanasettakul , Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , มติ ห่อประทุม , พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , ภูนิศรา ลิ้มนนท์กุล , พิทักษ์ เอี่ยมชัย , นพดล นันทวงศ์ . Fabrication and Characterization of Hydrophilic TiO2 Thin Films on Unheated Substrates Prepared by Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2553.