ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Hydrogen and Ozone SAW based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNx

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Hydrogen and Ozone SAW based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNx
นักวิจัย : A. Fechete , Anurat Wisitsoraat , W. Wlodarski , K. Kalantar-Zadeh , S. Kandasamy , A. Holland , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ
คำค้น : E-Beam Evaporated SiNx , H2 , InOx , O3 , SAW gas sensors , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/19084
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Layered Surface Acoustic Wave (SAW) devices with an InOx / SiNx / 36º YX LiTaO3 structure were investigated for sensing low concentrations of hydrogen (H2) and ozone (O3) at different operating temperatures. The sensor consists of a 1 µm thick silicon nitride (SiNx) intermediate layer deposited by electron beam evaporation on a 36º Y-cut X-propagating piezoelectric lithium tantalate (LiTaO3) substrate and a 100 nm thin indium oxide (InOx) sensing layer deposited by r.f. magnetron sputtering. The device fabrication is described and the performance of the sensor is analyzed in terms of response magnitude as a function of operating temperature. Large frequency shifts of 360 kHz for 600 parts per million (p.p.m.) of H2 and 92 kHz for 40 parts per billion (p.p.b.) O3 were recorded. In addition, the surface morphology of the deposited films were investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) and the chemical composition, stoichiometry by X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) to correlate gas-sensing behavior to structural characteristics of the thin film. /Layered Surface Acoustic Wave (SAW) devices with an InOx / SiNx / 36º YX LiTaO3 structure were investigated for sensing low concentrations of hydrogen (H2) and ozone (O3) at different operating temperatures. The sensor consists of a 1 µm thick silicon nitride (SiNx) intermediate layer deposited by electron beam evaporation on a 36º Y-cut X-propagating piezoelectric lithium tantalate (LiTaO3) substrate and a 100 nm thin indium oxide (InOx) sensing layer deposited by r.f. magnetron sputtering. The device fabrication is described and the performance of the sensor is analyzed in terms of response magnitude as a function of operating temperature. Large frequency shifts of 360 kHz for 600 parts per million (p.p.m.) of H2 and 92 kHz for 40 parts per billion (p.p.b.) O3 were recorded. In addition, the surface morphology of the deposited films were investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) and the chemical composition, stoichiometry by X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) to correlate gas-sensing behavior to structural characteristics of the thin film.

บรรณานุกรม :
A. Fechete , Anurat Wisitsoraat , W. Wlodarski , K. Kalantar-Zadeh , S. Kandasamy , A. Holland , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . (2549). Hydrogen and Ozone SAW based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNx.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
A. Fechete , Anurat Wisitsoraat , W. Wlodarski , K. Kalantar-Zadeh , S. Kandasamy , A. Holland , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . 2549. "Hydrogen and Ozone SAW based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNx".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
A. Fechete , Anurat Wisitsoraat , W. Wlodarski , K. Kalantar-Zadeh , S. Kandasamy , A. Holland , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . "Hydrogen and Ozone SAW based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNx."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2549. Print.
A. Fechete , Anurat Wisitsoraat , W. Wlodarski , K. Kalantar-Zadeh , S. Kandasamy , A. Holland , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . Hydrogen and Ozone SAW based Gas Sensors with RF Magnetron Sputtered InOx and Electron Beam Evaporated SiNx. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2549.