ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Nanocrystal-ZnO Thin Film Deposition by a Novel Reactive Gas- Timing RF Magnetron Sputtering Provided for UV Photodetectors

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Nanocrystal-ZnO Thin Film Deposition by a Novel Reactive Gas- Timing RF Magnetron Sputtering Provided for UV Photodetectors
นักวิจัย : P. Panprom , Supanit Porntheeraphat , Win Bunjongpru , T. Tiwawong , W. Yamwong , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , Jiti Nukaew , ปริญญา พันธ์พรม , ศุภนิจ พรธีระภัทร , วิน บรรจงปรุ , ทุติยาภรณ์ ทิวาวงศ์
คำค้น : Nanoabsorbant, nanofilter and nanocatalyst , Reactive Gas Timing , UV Detector , Zinc oxide , ZnO , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2553
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/18625
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

The fabrication and characterizations of nanocrystal-ZnO thin film used as active layer of MSM-photodetector structure are reported. The ZnO thin film were successfully sputtered on SiO2/Si substrates without heating or annealing processes by using a novel reactive gas-timing technique. In our experiment, the ZnO thin film properties with different gas-timing ratio of Ar/O2 were investigated. For fabricating of UV detector, the Al interdigitate electrode was deposited on SiO2/Si substrate by DC sputtering process and ZnO thin film was deposited as active layer. The response wavelength peak occurs at around 380 nm corresponding to ZnO energy bandgap of 3.2 eV .The I-V measurements indicates the Schottky behavior of ZnO on Al contact.

บรรณานุกรม :
P. Panprom , Supanit Porntheeraphat , Win Bunjongpru , T. Tiwawong , W. Yamwong , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , Jiti Nukaew , ปริญญา พันธ์พรม , ศุภนิจ พรธีระภัทร , วิน บรรจงปรุ , ทุติยาภรณ์ ทิวาวงศ์ . (2553). Nanocrystal-ZnO Thin Film Deposition by a Novel Reactive Gas- Timing RF Magnetron Sputtering Provided for UV Photodetectors.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
P. Panprom , Supanit Porntheeraphat , Win Bunjongpru , T. Tiwawong , W. Yamwong , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , Jiti Nukaew , ปริญญา พันธ์พรม , ศุภนิจ พรธีระภัทร , วิน บรรจงปรุ , ทุติยาภรณ์ ทิวาวงศ์ . 2553. "Nanocrystal-ZnO Thin Film Deposition by a Novel Reactive Gas- Timing RF Magnetron Sputtering Provided for UV Photodetectors".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
P. Panprom , Supanit Porntheeraphat , Win Bunjongpru , T. Tiwawong , W. Yamwong , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , Jiti Nukaew , ปริญญา พันธ์พรม , ศุภนิจ พรธีระภัทร , วิน บรรจงปรุ , ทุติยาภรณ์ ทิวาวงศ์ . "Nanocrystal-ZnO Thin Film Deposition by a Novel Reactive Gas- Timing RF Magnetron Sputtering Provided for UV Photodetectors."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2553. Print.
P. Panprom , Supanit Porntheeraphat , Win Bunjongpru , T. Tiwawong , W. Yamwong , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , Jiti Nukaew , ปริญญา พันธ์พรม , ศุภนิจ พรธีระภัทร , วิน บรรจงปรุ , ทุติยาภรณ์ ทิวาวงศ์ . Nanocrystal-ZnO Thin Film Deposition by a Novel Reactive Gas- Timing RF Magnetron Sputtering Provided for UV Photodetectors. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2553.