ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Oxygen Gas-Timing Control for Variety Properties of Sputtered- ZnO

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Oxygen Gas-Timing Control for Variety Properties of Sputtered- ZnO
นักวิจัย : Kittipong Limwichean , Supanit Porntheeraphat , Win Bunjongpru , P. Panprom , Apirak Pankiew , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , Jiti Nukaew , กิตติพงษ์ ลิ้มวิเชียร , ศุภนิจ พรธีระภัทร , วิน บรรจงปรุ , ปริญญา พันธ์พรม , อภิรักษ์ ผันเขียว , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , จิติ หนูแก้ว
คำค้น : Optical band gap , Optical physics , Optics and opto-electronic physics , Physical sciences , Reactive Gas-Timing , RF magnetron sputtering , rf sputtering , Thin films , Zinc oxide , ZnO , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาวิศวกรรมศาสตร์และอุตสาหกรรมวิจัย , อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2553
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/18622
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In this report, we present sputtered zinc oxide (ZnO) thin films grown with different argon (Ar) and oxygen (O2) gas-timing sequence. Metallic zinc (Zn) with 5N-purity was used as a sputtering target, while Ar and O2 of 6N-purity were used as the bombard and reactive gases, respectively. The crystalline orientation, surface morphology, chemical composition, optical and electrical properties of deposited ZnO thin films were determined by XRD,AFM and UV-VIS measurement, respectively. The XRD result implied that deposition ZnO thin films at different O2 gas-timing control corresponded to the (002) plane of hexagonal ZnO structure at 2Ө = 34.4◦. Furthermore, when the reactive time of O2 was increased, the transmittance of ZnO thin films exhibited the energy gap increase from ~2.95 to ~3.18 eV, whereas the surface roughness was found to decrease. Finally, ZnO thin films were oxidized after the deposition.

บรรณานุกรม :