ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

NiFe Native Oxide Preparation by Sputter Etching for Nanoscale Resolution in FE-SEM

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : NiFe Native Oxide Preparation by Sputter Etching for Nanoscale Resolution in FE-SEM
นักวิจัย : Nimit Somwang , Supanit Porntheeraphat , Putapon Pengpad , Apirak Pankiew , Komson Bunyavanich , Ekalak Chaowicharat , Suwat Sophitpan , Charndet Hruanan , Amporn Poyai , นิมิต สมหวัง , ศุภนิจ พรธีระภัทร , พุทธพล เพ็งพัด , อภิรักษ์ ผันเขียว , คมสัน บุณยวณิชย์
คำค้น : Nanoscale Resolution , Physics of materials , Sputter Etching , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/17806
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This paper introduces a method for nanoscale resolution improvement for FE-SEM. Very thin native oxide (< 5nm) on NiFe film grown on Si substrate has been effectively removed by sputter etcher attached with an Auger Electron Spectroscopy (AES) unit. The oxide, otherwise, cannot be detected by Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy Analysis (EDX) method. Comparison of samples with native oxide and without native oxide has been investigated by FE-SEM with condition of 10kV Vacc, 8mm WD and at magnification of 50K, 100K and 200K. Better sharpness and contrast of SEM images have been clearly shown from the NiFe sample with the native oxide removed. This result determines a strong influence of the native oxide on the SEM image quality, especially with magnification above 100K. The SEM images were converted into three dimensional models showing surface roughness which are in agreement with the sharpness of the images.

บรรณานุกรม :
Nimit Somwang , Supanit Porntheeraphat , Putapon Pengpad , Apirak Pankiew , Komson Bunyavanich , Ekalak Chaowicharat , Suwat Sophitpan , Charndet Hruanan , Amporn Poyai , นิมิต สมหวัง , ศุภนิจ พรธีระภัทร , พุทธพล เพ็งพัด , อภิรักษ์ ผันเขียว , คมสัน บุณยวณิชย์ . (2552). NiFe Native Oxide Preparation by Sputter Etching for Nanoscale Resolution in FE-SEM.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Nimit Somwang , Supanit Porntheeraphat , Putapon Pengpad , Apirak Pankiew , Komson Bunyavanich , Ekalak Chaowicharat , Suwat Sophitpan , Charndet Hruanan , Amporn Poyai , นิมิต สมหวัง , ศุภนิจ พรธีระภัทร , พุทธพล เพ็งพัด , อภิรักษ์ ผันเขียว , คมสัน บุณยวณิชย์ . 2552. "NiFe Native Oxide Preparation by Sputter Etching for Nanoscale Resolution in FE-SEM".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Nimit Somwang , Supanit Porntheeraphat , Putapon Pengpad , Apirak Pankiew , Komson Bunyavanich , Ekalak Chaowicharat , Suwat Sophitpan , Charndet Hruanan , Amporn Poyai , นิมิต สมหวัง , ศุภนิจ พรธีระภัทร , พุทธพล เพ็งพัด , อภิรักษ์ ผันเขียว , คมสัน บุณยวณิชย์ . "NiFe Native Oxide Preparation by Sputter Etching for Nanoscale Resolution in FE-SEM."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2552. Print.
Nimit Somwang , Supanit Porntheeraphat , Putapon Pengpad , Apirak Pankiew , Komson Bunyavanich , Ekalak Chaowicharat , Suwat Sophitpan , Charndet Hruanan , Amporn Poyai , นิมิต สมหวัง , ศุภนิจ พรธีระภัทร , พุทธพล เพ็งพัด , อภิรักษ์ ผันเขียว , คมสัน บุณยวณิชย์ . NiFe Native Oxide Preparation by Sputter Etching for Nanoscale Resolution in FE-SEM. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2552.