ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Symmetrical PolyMUMPs-Based Piezoresistive Microcantilever Sensors With On-Chip Temperature Compensation for Microfluidics Applications

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Symmetrical PolyMUMPs-Based Piezoresistive Microcantilever Sensors With On-Chip Temperature Compensation for Microfluidics Applications
นักวิจัย : Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , Kata Jaruwongrungsee , Apichai Jomphoak , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ , คทา จารุวงศ์รังสี , อภิชัย จอมเผือก , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ
คำค้น : Biosensors , Bridge circuits , Cantilever , Gas and chemical sensor , Microcantilever , Microelectromechanical systems , Microfluidic , Piezoresistive , PolyMUMPs , Sensor , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/17305
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Microelectromechanical systems (MEMS)-based cantilever beam sensors for microfluidics applications with on-chip temperature sensors for temperature drift compensation were developed. The stress induced on gold surface with polysilicon piezoresistive sensing is demonstrated. In principle, adsorption of biochemical species on a functionalized surface of the microfabricated cantilever will cause surface stress and, consequently, cantilever bending. The sensing mechanism relies on the piezoresistive properties of the doped polysilicon wire encapsulated in the beam. The beam is constructed through multiusers MEMS Process (PolyMUMPs) foundry with postprocessing silicon etching. Bending analysis is performed so that the beam tip deflection can be predicted. The piezoresistor designs on the beams were varied, within certain constraints, so that the sensitivity of the sensing technique could be measured by external read-out circuit. The mass detection of 0.0058-0.0110 g is measured by the beam resistor series as a balanced Wheatstone bridge configuration. The voltage output of the bridge is directly proportional to the amount of bending in the MEMS cantilever. The temperature dependency and sensor performance have been characterized in experiments. Compensation by resisters on the substrate significantly reduces the temperature dependence.

บรรณานุกรม :
Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , Kata Jaruwongrungsee , Apichai Jomphoak , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ , คทา จารุวงศ์รังสี , อภิชัย จอมเผือก , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . (2551). Symmetrical PolyMUMPs-Based Piezoresistive Microcantilever Sensors With On-Chip Temperature Compensation for Microfluidics Applications.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , Kata Jaruwongrungsee , Apichai Jomphoak , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ , คทา จารุวงศ์รังสี , อภิชัย จอมเผือก , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . 2551. "Symmetrical PolyMUMPs-Based Piezoresistive Microcantilever Sensors With On-Chip Temperature Compensation for Microfluidics Applications".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , Kata Jaruwongrungsee , Apichai Jomphoak , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ , คทา จารุวงศ์รังสี , อภิชัย จอมเผือก , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . "Symmetrical PolyMUMPs-Based Piezoresistive Microcantilever Sensors With On-Chip Temperature Compensation for Microfluidics Applications."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , Kata Jaruwongrungsee , Apichai Jomphoak , Anurat Wisitsoraat , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ , คทา จารุวงศ์รังสี , อภิชัย จอมเผือก , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ . Symmetrical PolyMUMPs-Based Piezoresistive Microcantilever Sensors With On-Chip Temperature Compensation for Microfluidics Applications. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.