| ชื่อเรื่อง | : | The Effect of Ion Implantation on ISFET-Sensing Membrane |
| นักวิจัย | : | Rungtawee Piyananjaratsri , Win Bunjongpru , Ekalak Chaowicharat , Opas Trithaveesak , K. Saeteaw , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , รุ่งทวี ปิยนันท์จรัสศรี , วิน บรรจงปรุ , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , โอภาส ตรีทวีศักดิ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | Ion implantation , ISFET , Materials engineering , Sensing Membrane , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2553 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/17074 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | This research studied the effect of ion implantation on electrical properties of ISFETs. In the experiments the sensing membrane area were implanted with 3 types of ions (Boron(B), Phosphorus(P), and Arsenic(As)). After the implantation without annealing, the IV-characteristics of Source/Drain (P-N junction) of ISFET were performed and compared with the behaviour before implantation. In addition, the response to acid-alkaline (sensitivity) of ISFET were also studied. From the results the leakage current of source-drain, P-N junction like, decreases significantly after the implantation. However, this process damaged the devices so that the response to acid-alkaline are lost. |
| บรรณานุกรม | : |
Rungtawee Piyananjaratsri , Win Bunjongpru , Ekalak Chaowicharat , Opas Trithaveesak , K. Saeteaw , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , รุ่งทวี ปิยนันท์จรัสศรี , วิน บรรจงปรุ , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , โอภาส ตรีทวีศักดิ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย . (2553). The Effect of Ion Implantation on ISFET-Sensing Membrane.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. Rungtawee Piyananjaratsri , Win Bunjongpru , Ekalak Chaowicharat , Opas Trithaveesak , K. Saeteaw , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , รุ่งทวี ปิยนันท์จรัสศรี , วิน บรรจงปรุ , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , โอภาส ตรีทวีศักดิ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย . 2553. "The Effect of Ion Implantation on ISFET-Sensing Membrane".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. Rungtawee Piyananjaratsri , Win Bunjongpru , Ekalak Chaowicharat , Opas Trithaveesak , K. Saeteaw , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , รุ่งทวี ปิยนันท์จรัสศรี , วิน บรรจงปรุ , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , โอภาส ตรีทวีศักดิ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย . "The Effect of Ion Implantation on ISFET-Sensing Membrane."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2553. Print. Rungtawee Piyananjaratsri , Win Bunjongpru , Ekalak Chaowicharat , Opas Trithaveesak , K. Saeteaw , Charndet Hruanun , Amporn Poyai , รุ่งทวี ปิยนันท์จรัสศรี , วิน บรรจงปรุ , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , โอภาส ตรีทวีศักดิ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย . The Effect of Ion Implantation on ISFET-Sensing Membrane. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2553.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
