ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Improvement bar sitting process step in air bearing surface patterning by using micropallette

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Improvement bar sitting process step in air bearing surface patterning by using micropallette
นักวิจัย : Nithi Atthi , Jirawat Jantawong , Wutthinan Jeamsaksiri , Apirak Pankiew , Amporn Poyai , นิธิ อัตถิ , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : 3-D lithography , Air Bearing Surface , Computer hardware , Engineering and technology , Grayscale Lithography , Hard disk drive , HDD , Input , Output and data devices , Photomask , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , ฮาร์ดดิสก์ไดรฟ์
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/16846
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

A read/write head of the Hard Disk Drive (HDD) has to go through several process steps from reader/writer fabrication process and then to wafer dicing into bars containing several read/write heads. These bars will have to go through Air Bearing Surface (ABS) forming process in order to ensure that the read/write head does not touch a spinning media. At the very beginning of the ABS formation process, the bars need to attach to a substrate so called a pallet in order to simulate a flat wafer surface for the purpose of photolithography process. The problem comes in when the glue which adhering the bars to the Micropallette shrinks and causes stress on the bars. This results in bar bending and renders the photolithography to be difficult and give low throughput. Therefore, a technique called Micropallete is use to fix the bars such that they do not bend when glue is cured. The Micropallette is invented and presented herein.

บรรณานุกรม :
Nithi Atthi , Jirawat Jantawong , Wutthinan Jeamsaksiri , Apirak Pankiew , Amporn Poyai , นิธิ อัตถิ , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). Improvement bar sitting process step in air bearing surface patterning by using micropallette.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Nithi Atthi , Jirawat Jantawong , Wutthinan Jeamsaksiri , Apirak Pankiew , Amporn Poyai , นิธิ อัตถิ , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "Improvement bar sitting process step in air bearing surface patterning by using micropallette".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Nithi Atthi , Jirawat Jantawong , Wutthinan Jeamsaksiri , Apirak Pankiew , Amporn Poyai , นิธิ อัตถิ , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อัมพร โพธิ์ใย . "Improvement bar sitting process step in air bearing surface patterning by using micropallette."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
Nithi Atthi , Jirawat Jantawong , Wutthinan Jeamsaksiri , Apirak Pankiew , Amporn Poyai , นิธิ อัตถิ , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อัมพร โพธิ์ใย . Improvement bar sitting process step in air bearing surface patterning by using micropallette. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.