ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Surface- and Bulk- Micromachined Two-Dimensional Scanner Driven by Angular Vertical Comb Actuators

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Surface- and Bulk- Micromachined Two-Dimensional Scanner Driven by Angular Vertical Comb Actuators
นักวิจัย : Wibool Piyawattanametha , Pamela R. Patterson , Dooyoung Hah , Hiroshi Toshiyoshi , Ming C. Wu , วิบูลย์ ปิยวัฒนเมธา
คำค้น : Automatic voltage control , AVC , confocal , Electrostatic actuators , Electrostatic measurements , Laser beam steering , Micromachining , Micromechanical devices , Mirrors , OCT , Optical design , Optical device fabrication , Optical interconnections , Scanner , Two dimensional displays , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2548
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/16828
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In this paper, we present the design, fabrication, and measurements of a two-dimensional (2-D) optical scanner with electrostatic angular vertical comb (AVC) actuators. The scanner is realized by combining a foundry-based surface-micromachining process (Multi-User MEMS Processes-MUMPs) with a three-mask deep-reactive ion-etching (DRIE) postfabrication process. The surface-micromachining provides versatile mechanical design and electrical interconnect while the bulk micromachining offers high-aspect ratio structures leading to flat mirrors and high-force, large-displacement actuators. The scanner achieves dc mechanical scanning ranges of ±6.2° (at 55 Vdc) and ±4.1° (at 50 Vdc) for the inner and outer gimbals, respectively. The resonant frequencies are 315 and 144 Hz for the inner and the outer axes, respectively. The 1-mm-diameter mirror has a radius of curvature of over 50 cm. [1454].

บรรณานุกรม :
Wibool Piyawattanametha , Pamela R. Patterson , Dooyoung Hah , Hiroshi Toshiyoshi , Ming C. Wu , วิบูลย์ ปิยวัฒนเมธา . (2548). Surface- and Bulk- Micromachined Two-Dimensional Scanner Driven by Angular Vertical Comb Actuators.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Wibool Piyawattanametha , Pamela R. Patterson , Dooyoung Hah , Hiroshi Toshiyoshi , Ming C. Wu , วิบูลย์ ปิยวัฒนเมธา . 2548. "Surface- and Bulk- Micromachined Two-Dimensional Scanner Driven by Angular Vertical Comb Actuators".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Wibool Piyawattanametha , Pamela R. Patterson , Dooyoung Hah , Hiroshi Toshiyoshi , Ming C. Wu , วิบูลย์ ปิยวัฒนเมธา . "Surface- and Bulk- Micromachined Two-Dimensional Scanner Driven by Angular Vertical Comb Actuators."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2548. Print.
Wibool Piyawattanametha , Pamela R. Patterson , Dooyoung Hah , Hiroshi Toshiyoshi , Ming C. Wu , วิบูลย์ ปิยวัฒนเมธา . Surface- and Bulk- Micromachined Two-Dimensional Scanner Driven by Angular Vertical Comb Actuators. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2548.