ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Design and Simulation of Electro-fabricated MEMS Micro-hotplate for Gas Sensor Applications

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Design and Simulation of Electro-fabricated MEMS Micro-hotplate for Gas Sensor Applications
นักวิจัย : Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ
คำค้น : Gas sensor , MEMS , Microheater , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/16294
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In this paper, we present the simulation results of a new MEMS micro-hotplate design for gas sensor applications. The structure is designed to be fabricated on a glass substrate by the low cost process including physical vapor deposition, photolithography, electroplating, and photoresist-sacrificed process. The electro-thermo-mechanical behaviors of the proposed structure have been simulated by CoventorWareTM. In the simulation, the effects of thickness of the NiCr heater layer temperature, mechanical deflection, stress, and power consumption are evaluated. The 3D simulation on results show that the temperature, displacement, stress and current density are pronounced at the center of the beam as desired. At the nominal sensor temperature of ∼400 °C, the power consumption and Mises stress are greatly reduced from 126 to 7 mW and 1280 to 472 MPa as the thickness decreases from 5 to 0.25 νm. In contrast, the compressive beam deflection is not monotonically increased as thickness increases and it is maximum at the thickness of ∼0.5 νm. Therefore, the simulation results indicate that the proposed design with 0.25 m-thick NiCr heater requires very low power consumption of 7 mW with low stress suitable and acceptable membrane deflection for gas sensor applications

บรรณานุกรม :
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ . (2549). Design and Simulation of Electro-fabricated MEMS Micro-hotplate for Gas Sensor Applications.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ . 2549. "Design and Simulation of Electro-fabricated MEMS Micro-hotplate for Gas Sensor Applications".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ . "Design and Simulation of Electro-fabricated MEMS Micro-hotplate for Gas Sensor Applications."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2549. Print.
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , ถนอม โลมาศ . Design and Simulation of Electro-fabricated MEMS Micro-hotplate for Gas Sensor Applications. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2549.