ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Dynamic in situ spectroscopic ellipsometric study in inhomogeneous TiO2 thin-?lm growth

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Dynamic in situ spectroscopic ellipsometric study in inhomogeneous TiO2 thin-?lm growth
นักวิจัย : Mati Horprathum , Pongpan Chindaudom , Puenisara Limnonthakul , Pitak Eiamchai , Noppadon Nuntawong , Viyapol Patthanasettakul , Artorn Pokaipisit , Pichet Limsuwan , มติ ห่อประทุม , พงศ์พันธ์ จินดาอุดม , ภูณิศรา ลิ้มนนทกุล , พิทักษ์ เอี่ยมชัย , นพดล นันทวงศ์ , วิยะพล พัฒนะเศรษฐกุล , อาทร โภไคยพิสิฐ , พิเชษฐ ลิ้มสุวรรณ
คำค้น : Crystal microstructure , Ellipsometry , Functional materials , Island structure , Nucleation , Refractive index , Solid-state phase transformations , Sputter deposition , Thin films , Titanium compounds , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2553
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/15946
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

We investigate the film-growth process of the inhomogeneous sputtered TiO2 thin films by the in situ real-time spectroscopic ellipsometer. The growth process of the film is analyzed by both the uniform and the island film growth models. Based on the analyses from the Ψ-Δ trajectories, the initial thin-film growth corresponds to the island film growth model for a single-layer film. As the film grows, the microstructural phase changes cause the transition from the single-to the double-layer physical model, because of the development of the inhomogeneity in the TiO2 thin film. The dynamic fits with the double-layer physical model and the Cody–Lorentz optical model indicate three different stages of the film growth: the nucleation stage, the coalescence stage, and the continuous-layer stage. Although our presented model works well for most of the experimental data, the determination of the refractive index at the ultrathin thickness may be problematic.

บรรณานุกรม :