ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การพัฒนากระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรนของเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การพัฒนากระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรนของเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด
นักวิจัย : ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์
คำค้น : การถ่ายย่อแบบ , การล้างฟิล์มไวแสง , การเคลือบฟิล์มไวแสง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , โพลีซิลิก
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/11137
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

กระบวนการถ่ายย่อแบบ (Lithography) เป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิต เซนเซอร์วัดแรงดันเลือด เพื่อกำหนดลวดลายลงบนแผ่นซิลิกอนเวเฟอร์ (Silicon wafer) เคลือบฟิล์มไวแสง (Photoresist) ก่อนเข้าสู่กระบวนการอื่นในการผลิตเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด ค่าพลังงานในการฉายแสง (Exposure dose )และ ช่วงระยะโฟกัส (Depth of focus) จะต้องมีการแปรค่าให้เหมาะกับชนิดและความหนาของ Substrate ที่จะสร้างลวดลาย เพราะมีผลโดยตรงต่อการควบคุมขนาดและรูปร่าง ของลวดลายเซนเซอร์ โครงสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรน (Polysilicon membrane or Polysilicon diaphragm) เป็นโครงสร้างสำคัญสำหรับรับแรงดันใน เซนเซอร์วัดแรงดันเลือด (Blood pressure sensor) การสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรน บนแผ่นซิลิกอนเวเฟอร์ จะต้องผ่านกระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อทำลวดลาย สามลำดับขั้นตอน ได้แก่ ชั้น KAV เพื่อกำหนดลวดลายของ Cavity ชั้น ETSK เพื่อกำหนดลวดลายของ Wet etch channels และ ชั้น OPP เพื่อกำหนดลวดลายของ โพลีซิลิกอน เมมเบรน ในการพัฒนาครั้งนี้ พารามิเตอร์ของ การเคลือบฟิล์มไวแสง ถูกทดสอบ และกำหนดเป็นโปรแกรมสองโปรแกรม คือ โปรแกรม 10900b และ 20000a ที่ให้ความหนาของฟิล์มไวแสง 1090 nm และ 2000 nm ตามลำดับ โดยโปรแกรม 10900b ใช้สร้างลวดลายชั้น KAV และ ชั้น ETSK ส่วนโปรแกรม 20000a ใช้สร้างชั้น OPP พารามิเตอร์ของการฉายแสง กำหนดโปรแกรมการฉายแสง ค่าพลังงาน และค่าโฟกัสแยกเป็นสามส่วน คือ ชั้นลวดลาย KAV ใช้โปรแกรมการฉายแสง @RADI2.KAV ค่าพลังงาน 480 msec ค่าโฟกัส 0.0 ไมครอน ชั้นลวดลาย ETSK ใช้โปรแกรมการฉายแสง @RADI2.ETSK ค่าพลังงาน 480 msec ค่าโฟกัส 0.0 ไมครอน และ ชั้นลวดลาย OPP ใช้โปรแกรมการฉายแสง @RADI2.OPP ค่าพลังงาน 490 msec ค่าโฟกัส 0.0 ไมครอน พารามิเตอร์ของ การล้างฟิล์มไวแสง ถูกทดสอบ และกำหนดเป็น สอง โปรแกรม คือ op60 และ op80 ซึ่งล้างฟิล์มไวแสงนาน 60 และ 80 วินาที ตามลำดับ โดยโปรแกรม op60 ใช้กับชั้น KAV และ ETSK ส่วนโปรแกรม op80 ใช้กับชั้น OPP

บรรณานุกรม :
ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ . (2550). การพัฒนากระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรนของเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ . 2550. "การพัฒนากระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรนของเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ . "การพัฒนากระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรนของเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย , เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ . การพัฒนากระบวนการถ่ายย่อแบบ เพื่อสร้างโพลีซิลิกอนเมมเบรนของเซนเซอร์วัดแรงดันเลือด. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.