ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

กระบวนการผลิต ISFET

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : กระบวนการผลิต ISFET
นักวิจัย : ชาญเดช หรูอนันต์ , วิน บรรจงปรุ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : Fabrication , ISFET , ซิลิกอน , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , อีสเฟต
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/11074
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This report contains the process flow of the Ion Sensitive membrane fabricated and tested at Thai Microelectronics Center (TMEC). The report describes the process from the starting bare Si wafer substrate until the last process step required to make ISFETs. This involves typical processes used as in CMOS processes. /This report contains the process flow of the Ion Sensitive membrane fabricated and tested at Thai Microelectronics Center (TMEC). The report describes the process from the starting bare Si wafer substrate until the last process step required to make ISFETs. This involves typical processes used as in CMOS processes.

บรรณานุกรม :
ชาญเดช หรูอนันต์ , วิน บรรจงปรุ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). กระบวนการผลิต ISFET.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , วิน บรรจงปรุ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "กระบวนการผลิต ISFET".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , วิน บรรจงปรุ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "กระบวนการผลิต ISFET."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
ชาญเดช หรูอนันต์ , วิน บรรจงปรุ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . กระบวนการผลิต ISFET. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.