ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์
นักวิจัย : ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai
คำค้น : Conductive Optical Filter , ITON , Optical physics , Optics and opto-electronic physics , Oxynitride , Physical sciences , RF magnetron sputtering , rf sputtering , Thin films , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาวิศวกรรมศาสตร์และอุตสาหกรรมวิจัย , อาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง , อินเดียมทินออกซิไนไตรด์ , อุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้า
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10927
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

อุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดยมทินออกซีไนไตรด์ (Indium Tin Oxide Nitride Optical Filter) สามารถใช้ในการกรองแสงได้ตั้งแต่ย่านอัลตราไวโอเลต (UV) จนถึงเขียว (Green) ซึ่งนำไปประยุกต์ใช้งานที่เกี่ยวข้องกับการกรองแสงย่านดังกล่าวและฟิล์มบางที่ได้ยังมีสมบัติการนำไฟฟ้าอีกด้วย ฟิล์มบางอินเดยมทินออกซีไนไตรด์ (ITON) สามารถถูกปลูกให้มีสมบัติการกรองแสงตามความยาวคลื่นย่านที่ต้องการได้โดยการเปลี่ยนแปลงเงื่อนไขในการปลูกฟิล์ม ฟิล์มบางที่นำมาสร้างเป็นสิ่งประดิษฐ์ชนิดนี้ถูกปลูกโดยใช้ระบบอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง (RF Magnetron Sputtering) ซึ่งใช้เป้าสารเคลือบเป็นสารประกอบอินเดียมทินออกไซด์ (Indium Tin Oxide; ITO) ที่มีส่วนประกอบโดยน้ำหนักเป็น In 90% Sn2O3 10% ได้ทำการควบคุมอัตราการไหลของกาซอาร์กอน (Ar) และกาซไนโตรเจน (N2) ที่มีความบริสุทธิ์ 99.999% เข้าไปผสมกันทำพลาสมาเพื่อจะสปัตเป้าสารเคลือบอินเดียมทินออกไซด์ โดยที่ฟิล์มมีความหนา 1 ไมโครเมตรจะถูกปลูกบนฐานรองรับเป็นแผ่นแก้วใส (Glass) ซึ่งจะสามารถนำไปใช้เป็นฟิลเตอร์ทางแสงได้โดยตรงไม่ต้องผ่านกระบวนการสร้างเพิ่มเติมอื่นๆ ต่อไปอีก

บรรณานุกรม :
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . (2550). ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . 2550. "ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . "ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย , Charndet Hruanun , Jiti Nukaew , Supanit Porntheeraphat , Apichart Sungthong , Amporn Poyai . ต้นแบบอุปกรณ์กรองแสงนำไฟฟ้าจากฟิล์มบางอินเดียมทินออกซีไนไตรด์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.