ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์
นักวิจัย : ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : InON , Nanocrystal , Optical Filter , นาโนคริสตัล , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , อินเดียมออกซีไนไตรด์
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10918
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์ ฟิล์มบางนี้ถูกปลูกขึ้นโดยใช้ระบบอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง ด้วยวิธีการควบคุมอัตราการไหลของกาซไวปฏิกิริยาหรือกาซที่เข้าทำการสปัตเป้าสารเคลือบอินเดียม โดยไม่ต้องให้อุณหภูมิแก่ฐานรองรับ เมื่อนำสิ่งประดิษฐ์นี้ไปตรวจสอบสมบัติต่างๆ พบว่าฟิล์มบางอินเดียมออกซีไนไตรด์บนแผ่นฐานรองรับมีลักษณะโครงสร้างพหุผลึกเปลี่ยนแปลงไปตามปริมาณออกซิเจนที่ทำปฏิกิริยา ฟิล์มบางมีความเป็นผลึกในระดับนาโนเมตร และสามารถสร้างให้เลือกกรองแสงได้ตั้งแต่ความยาวคลื่นย่านอัลตราไวโอเลตจนถึงย่านใกล้แดง เป็นอุปกรณ์กรองแสงแบบย่านความยาวคลื่นสูงกว่าจุด cut- off ผ่านได้ (Optical High Pass Filter) Nanocrystal indium oxynitride (InON) thin films are used to functional layer for optical high-pass filter. The thin film deposition was carried out with radio frequency (RF) magnetron sputtering. The 99.999% purity of metal Indium (In) was used as a target in the sputtering process. The two mass flow controllers were use to control the flow rate of ultra high purity nitrogen and oxygen as the reactive gases sputtered target onto the substrates without heating. The device can be performed in ultraviolet to near infrared regions by the sputtering conditions. The InON thin film on glass or plastic substrates were prepared by this process can be achieved to optical high pass filters without any post-process requirement.

บรรณานุกรม :
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย . "อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
ชาญเดช หรูอนันต์ , จิติ หนูแก้ว , ศุภนิจ พรธีระภัทร , อภิชาติ สังข์ทอง , อัมพร โพธิ์ใย . อุปกรณ์กรองแสงฟิล์มบางนาโนคริสตัลอินเดียมออกซีไนไตรด์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.