ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ
นักวิจัย : จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , แมกนีโตทรานซิสเตอร์ Magneto transistor
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10765
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ เป็นกระบวนการสร้างชั้นลายโลหะ และชั้นลายป้องกันความชื้นของอุปกรณ์ โดยสร้างโดยการฉายแสงผ่านกระจกต้นแบบชั้นโลหะลงบนฟิล์มน้ำยาไวแสง และล้างออกด้วยน้ำยาล้างฟิล์มไวแสงออก ซึ่งได้เป็นลวดลายชั่วคราวบนชั้นฟิล์มโลหะ เพื่อนำไปกัดเป็นลวดลายโลหะถาวรด้วยกระบวนการกัด และหลังจากกระบวนการกัดทำการปลูกชั้นฟิล์มฉนวน และสร้างลวดลายชั่วคราวบนฟิล์มไวแสงอีกครั้งด้วยการฉายแสงผ่านกระจกต้นแบบชั้นลายป้องกันฉนวน และกัดเพื่อทำการเปิดขั้วโลหะเพื่อทำการวัดคุณสมบัติทางไฟฟ้าของตัวอุปกรณ์ โดยรายงานนี้กล่าวถึงเงื่อนไขที่เหมาะสมที่สุดของค่าพารามิเตอร์ต่างๆ ของกระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรที่ใช้สร้างแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี

บรรณานุกรม :
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . "กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อัมพร โพธิ์ใย . กระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจรสำหรับแมกนีโตทรานซิสเตอร์ พี เอ็น พี หลังกระบวนการสร้างชั้นโลหะ. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.