ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร
นักวิจัย : จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์
คำค้น : Aluminum film , Photolithography , Reflective index , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10753
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

รายงานฉบับนี้กล่าวถึงการสร้างลวดลายทดสอบดัชนีการสะท้อนกลับของแสง (Reflective index) เมื่อส่องแสงผ่านช่องเปิดขนาดเล็กที่สร้างด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร (Photolithography) บนชั้นฟิล์มอลูมินัมบนแผ่นซิลิกอน ซึ่งเป็นการรับงานวิจัยจากมหาวิทยาลัยขอนแก่น จากผลการทดลองพบว่า ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (TMEC) สามารถพัฒนากระบวนการผลิต เพื่อสร้างลวดลายขนาด 2 ไมครอน ด้วยเครื่อง Mask aligner ได้ อย่างไรก็ตามพบว่า ความสม่ำเสมอในการกัด ความหนานของชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสง และกระบวนการกัดแบบแห้งนั้น ส่งผลโดยตรงกับการควบคุมขนาดของลายวงจร และจัดเป็นตัวแปรที่จะต้องทำการควบคุมต่อไป

บรรณานุกรม :
จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . (2551). การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . 2551. "การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . "การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นริชพันธ์ เป็นผลดี , นิธิ อัตถิ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . การสร้างลวดลายทดสอบค่าดัชนีการสะท้อนของแสงบนชั้นฟิล์มอลูมินัมด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.