ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

ผลกระทบของต้นแบบลายวงจรแบบฟิล์มใสต่อคุณภาพของลายวงจร

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : ผลกระทบของต้นแบบลายวงจรแบบฟิล์มใสต่อคุณภาพของลายวงจร
นักวิจัย : ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์
คำค้น : Pattern quality , Photolithography , Photomask , Transparent film mask , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10750
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

รายงานนี้นำเสนอผลกระทบต่อคุณภาพของลายวงจรเมื่อทำการถ่ายแบบลายวงจรด้วยแผ่นต้นแบบชนิดฟิล์มใส ทั้งนี้เนื่องจาก TMEC มีความต้องการที่จะลดต้นทุนในการผลิต ซึ่งโดยประมาณ 50 เปอร์เซ็นต์ของต้นทุนทั้งหมดมาจากกระจกต้นแบบ โดยมีเป้าหมายที่จะทดแทนกระจกต้นแบบที่ใช้ในปัจจุบันด้วยฟิล์มใส ซึ่งจากผลการทดลองพบว่า ชั้นฟิล์มใสนี้จะมีเปอร์เซ็นต์การส่องผ่านของแสงอัลตราไวโอเลตน้อยกว่ากระจกต้นแบบชนิดควอทซ์ ซึ่งหมายถึงต้องเพิ่มเวลาในการถ่ายแบบลายวงจร นอกจากนี้ชั้นฟิล์มใสยังเหมาะสำหรับถ่ายแบบลายวงจรที่มีขนาดใหญ่ ตั้งแต่ 20 ไมครอนขึ้นไป ทั้งนี้เนื่องจากการควบคุมขนาดของลายวงจร ความเรียบของขอบลายวงจรนนั้นทำได้ยาก นอกจากนี้ยังมีฝุ่นละอองและจุดบกพร่องอยู่บนแผ่นใสอีกด้วย ซึ่งจุดบกพร่องเหล่านี้จะหายไปเมื่อทำการฉายแสงด้วยพลังงานที่สูงเพียงเท่านั้น ซึ่งก็จะส่งผลต่อการควบคุมขนาดของลายวงจรต่อไป จึงกล่าวได้ว่าชั้นฟิล์มใสนั้นเหมาะที่จะใช้สร้างลายวงจรขนาดใหญ่เพียงเท่านั้น Since TMEC has many sensor projects which the pattern size is more than 10 microns, so we plan to reduce the process cost by using transparent film mask instead of rigid quartz mask for the device that has 20 a CD more than microns. From this experiments, The percentage of light transmission through Transparent film is than mask has exposure less quartz mask, so it to increase the dose during exposure step. Moreover, Transparent film mask can be used for patterning process with only big pattern linewidth and when the edge of the pattern was not concerned because the pattern quality exposed by using Transparent film mask was not good and the film has rough surface, scratch and particles. However, when the exposure dose has enough, all defects has disappeared.

บรรณานุกรม :
ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . (2551). ผลกระทบของต้นแบบลายวงจรแบบฟิล์มใสต่อคุณภาพของลายวงจร.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . 2551. "ผลกระทบของต้นแบบลายวงจรแบบฟิล์มใสต่อคุณภาพของลายวงจร".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . "ผลกระทบของต้นแบบลายวงจรแบบฟิล์มใสต่อคุณภาพของลายวงจร."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
ชนะ ลีภัทรพงศ์พันธ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , วิน บรรจงปรุ , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย , เกษม ตันธนะศิริวงศ์ . ผลกระทบของต้นแบบลายวงจรแบบฟิล์มใสต่อคุณภาพของลายวงจร. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.