ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร
นักวิจัย : จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : Exposure tools , Photomask , กระจกต้นแบบ , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เครื่องถ่ายแบบลายวงจร , แบบลายวงจร
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10714
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

กระจกต้นแบบขนาดพิเศษนั้น สามารถนำไปใช้กับเครื่องถ่ายแบบลายวงจร Ultratech Stepper รุ่น Nanotech-190 ของบริษัท Western Digital (บางปะอิน) ประเทศไทย จำกัด ได้ โดยไม่จำเป็นต้องมี Metal guide ทำให้ประหยัดต้นทุนการสั่งซื้อกระจกต้นแบบถึง 2 เท่า นอกจากนี้ยังจำเป็นต้องหาความสัมพันธ์ทางตำแหน่งระหว่างเครื่องสร้างกระจกต้นแบบกับเครื่องถ่ายแบบลายวงจร เพื่อกำหนดตำแหน่งที่ถูกต้องในการสร้าง Fiducial alignment mark เพื่อให้กระจกต้นแบบขนาดใหม่นี้สามารถใช้กับเครื่องจักรแบบอัตโนมัติได้ต่อไป โดยงานวิจัยนี้ได้รับการชำระเงินจาก WDB เป็นจำนวน 200,000 บาท

บรรณานุกรม :
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การออกแบบกระจกต้นแบบขนาดใหม่ เพื่อลดต้นทุนในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.