ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล
นักวิจัย : กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : การถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกล , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาค
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10654
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

โครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ที่ต้องการความหนาลายวงจรหลายระดับขั้น อาจมีผนังลายวงจรที่ตั้งตรง, ลาดเอียงหรือรูปร่างโค้ง สร้างได้โดยการถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกลด้วยการฉายแสงและการกัดเพียงครั้งเดียว โดยลายวงจรต้องประกอบไปด้วยขนาดของช่องเปิด (Pixels) และช่องปิด (Pitch) ของแสงที่มีขนาดเล็กกว่าความละเอียดของเครื่องถ่ายย่อแบบลายวงจร (Stepper) จากการทดลองพบว่าสามารถสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ที่มีรูปร่างขั้นบันไดลงบนชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงชนิดบวกเบอร์ AZ-P4620 ความหนา 10 ไมครอน ด้วยการฉายแสงเพียงครั้งเดียวผ่านกระจกต้นแบบ ที่ขนาดของ Pixel ตั้งแต่ 1.4 ถึง 2.2 ไมครอน ทั้งนี้เพื่อเป็นแนวทางในการประยุกต์เทคนิคเกรย์สเกลเพื่อสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ รูปร่างอื่นๆ ต่อไป

บรรณานุกรม :
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเกล. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.