ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ
นักวิจัย : จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : กระจกต้นแบบชนิดเกรย์สเ , กระบวนการถ่ายแบบลายวงจร , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , โครงสร้างจุลภาค 3 มิติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10651
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ สามารถทำได้โดยใช้กระจกต้นแบบชนิดความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ (Multi-Film Thickness Mask, MFT-Mask) ซึ่งสามารถสร้างได้ด้วยกระบวนการสร้างต้นแบบลายวงจรแบบ Binary mask แบบปกติ โดยมีหลักสำคัญคือ “เมื่อความหนาของชั้นฟิล์มโครเมียมหรือชั้นฟิล์มที่ทำจากวัสดุชนิดอื่นเปลี่ยนไป พลังงานของแสงที่ฉายผ่านกระจกต้นแบบลงไปที่ชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงก็เปลี่ยนไปด้วย”โดยเทคนิคนี้จะมีต้นทุนการผลิตต่ำกว่าการสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ โดยใช้ต้นแบบชนิดเกรย์สเกล ซึ่งอาจเป็นเทคโนโลยีสำหรับการผลิตเครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาคต่อไปในอนาคต

บรรณานุกรม :
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยกระจกต้นแบบความหนาชั้นฟิล์มหลายระดับ. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.