ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง
นักวิจัย : กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : การถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกล , การปรับเปลี่ยนค่าพลังงาน , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10648
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

การปรับเปลี่ยนพลังงานแสงในกระบวนการถ่ายแบบลายวงจร พร้อมกับการเลื่อนตำแหน่งของชิ้นงานนั้น สามารถสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ที่มีผนังลายวงจรตั้งตรงได้เช่นเดียวกับการถ่ายแบบลายวงจรด้วยเทคนิคเกรย์สเกล แต่ประหยัดเวลาและต้นทุนการผลิตมากกว่า เทคนิคนี้จึงเป็นทางเลือกสำหรับกระบวนการสร้างเครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาคต่อไปในอนาคต

บรรณานุกรม :
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . (2550). การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . 2550. "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . "การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
กฤษฏา เสียงแจ้ว , จิระวัฒน์ จันต๊ะวงศ์ , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิธิ อัตถิ , วุฒินันท์ เจียมศักดิ์ศิริ , อัมพร โพธิ์ใย . การสร้างโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ด้วยเทคนิคการปรับเปลี่ยนค่าพลังงานในการฉายแสง. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.