| ชื่อเรื่อง | : | สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน |
| นักวิจัย | : | การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | Bosch technique , Silicon deep etching , Silicon dioxide , กัดซิลิคอนลึก , ซิลิคอนไดออกไซด์ , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เทคนิคแบบ Bosch |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10609 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | รายงานฉบับนี้แสดงถึงสูตรที่สามารถใช้ในกระบวนการกัดซิลิคอนลึกของเครื่อง Plasmalab system 100 ICP380 จากบริษัท Oxford instruments โดยมีชั้นซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกันผิวหน้าแผ่นผลึกซิลิคอนในส่วนที่ไม่ต้องการให้เกิดปฏิกิริยา ซึ่งจากผลการทดลองโดยใช้เทคนิคแบบ Bosch นั้นพบว่าสามารถกัดชั้นซิลิคอนได้ลึกถึง 8.01 ไมครอนต่อนาที ซึ่งเป็นค่าที่สูงมากเมื่อเทียบกับค่าของเครื่องกัดเดิม (<0.5 ไมครอนต่อนาที) ที่ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์มีอยู่ ณ ปัจจุบัน |
| บรรณานุกรม | : |
การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . "สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print. การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
