ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน
นักวิจัย : การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : Bosch technique , Silicon deep etching , Silicon dioxide , กัดซิลิคอนลึก , ซิลิคอนไดออกไซด์ , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เทคนิคแบบ Bosch
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10609
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

รายงานฉบับนี้แสดงถึงสูตรที่สามารถใช้ในกระบวนการกัดซิลิคอนลึกของเครื่อง Plasmalab system 100 ICP380 จากบริษัท Oxford instruments โดยมีชั้นซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกันผิวหน้าแผ่นผลึกซิลิคอนในส่วนที่ไม่ต้องการให้เกิดปฏิกิริยา ซึ่งจากผลการทดลองโดยใช้เทคนิคแบบ Bosch นั้นพบว่าสามารถกัดชั้นซิลิคอนได้ลึกถึง 8.01 ไมครอนต่อนาที ซึ่งเป็นค่าที่สูงมากเมื่อเทียบกับค่าของเครื่องกัดเดิม (<0.5 ไมครอนต่อนาที) ที่ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์มีอยู่ ณ ปัจจุบัน

บรรณานุกรม :
การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . "สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
การุณ แซ่จอก , คมสัน บุณยวณิชย์ , จักรพงศ์ ศุภเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , นิภาพรรณ กลั่นเงิน , นิมิต สมหวัง , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อภิรักษ์ ผันเขียว , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . สูตรการกัดซิลิคอนโดยมีซิลิคอนไดออกไซด์เป็นชั้นป้องกัน. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.