| ชื่อเรื่อง | : | การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์ |
| นักวิจัย | : | จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย |
| คำค้น | : | ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เวอร์เนียร์ Vernier alignment |
| หน่วยงาน | : | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ |
| ผู้ร่วมงาน | : | - |
| ปีพิมพ์ | : | 2551 |
| อ้างอิง | : | http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10576 |
| ที่มา | : | - |
| ความเชี่ยวชาญ | : | - |
| ความสัมพันธ์ | : | - |
| ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
| บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | ในการสร้างชั้นลายวงจรด้วยกระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจร จะต้องใช้ค่าพารามิเตอร์ต่าง ๆ มากมายเช่น ค่า Blind Reticle, ค่า Center shift, ค่า Alignment mark สำหรับเครื่องถ่ายย่อแบบลายวงจรเพื่อเป็นตัวกำหนดค่าต่าง ๆ ในการสร้างชั้นลายวงจรขึ้นมาหนึ่งชั้น ซึ่งในแต่ละชั้นลายวงจรก็มีค่าพารามิเตอร์ที่แตกต่างกันออกไป จึงจำเป็นที่จะต้องหาค่า Blind Reticle ค่า Center shift ค่า Alignment mark สำหรับทุก ๆ ชั้นลายวงจร โดยใช้ค่าเริ่มต้นจาก Mask Layout และ Chip Layer และทำการทดลองจริงบนแผ่นเวเฟอร์ |
| บรรณานุกรม | : |
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์.
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์".
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . "การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์."
ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print. จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.
|
ridm@nrct.go.th ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย รายการโปรดที่คุณเลือกไว้
