ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์
นักวิจัย : จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย
คำค้น : ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , เวอร์เนียร์ Vernier alignment
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/10576
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

ในการสร้างชั้นลายวงจรด้วยกระบวนการถ่ายย่อแบบลายวงจร จะต้องใช้ค่าพารามิเตอร์ต่าง ๆ มากมายเช่น ค่า Blind Reticle, ค่า Center shift, ค่า Alignment mark สำหรับเครื่องถ่ายย่อแบบลายวงจรเพื่อเป็นตัวกำหนดค่าต่าง ๆ ในการสร้างชั้นลายวงจรขึ้นมาหนึ่งชั้น ซึ่งในแต่ละชั้นลายวงจรก็มีค่าพารามิเตอร์ที่แตกต่างกันออกไป จึงจำเป็นที่จะต้องหาค่า Blind Reticle ค่า Center shift ค่า Alignment mark สำหรับทุก ๆ ชั้นลายวงจร โดยใช้ค่าเริ่มต้นจาก Mask Layout และ Chip Layer และทำการทดลองจริงบนแผ่นเวเฟอร์

บรรณานุกรม :
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . (2551). การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . 2551. "การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . "การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2551. Print.
จักรรินทร์ ลัทธิเดช , ชาญเดช หรูอนันต์ , ภาวดี มีสรรพวงศ์ , รัตนาวรรณ เมนะเนตร , อวิรุทธิ์ ศรีสุวรรณ์ , อัมพร โพธิ์ใย . การหาตำแหน่งตัวซ้อนทับบนชั้นลายวงจรจากการออกแบบและการตรวจสอบการซ้อนทับของชั้นลายวงจรด้วยลายเวอร์เนียร์. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2551.