ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การอบรมวิชา Integrated Circuit Fabrication (หนังสืออ่านประกอบ)

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การอบรมวิชา Integrated Circuit Fabrication (หนังสืออ่านประกอบ)
นักวิจัย : สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อนุชา เรืองพานิช , ภาวัน สยามชัย , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Suwat Sopitpan , Anucha Ruangphanit , Pavan Siamchai , Charndet Hruanun , Amporn Poyai
คำค้น : CMOS , Implantation , Oxidation , TEG , ซีมอส , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาเทคโนโลยีสารสนเทศและนิเทศศาสตร์ , ออกซิเดชั่น
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2547
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/7375
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

เอกสารชุดนี้เป็นเอกสารประกอบการอบรมหลักสูตร Integrated Circuit (IC) Fabrication เนื้อหาจะประกอบด้วย บทที่ 1 การจำลองกระบวนการผลิตโดยใช้โปรแกรม TSUPREM4 ในส่วนนี้จะกล่าวถึงประโยชน์ของการโปรแกรมต่อกระบวนการผลิต เช่น การคำนวณค่าความลึกของรอยต่อที่เกิดจากการยิงฝังประจุ ซึ่งผลการจำลองที่ได้ก็จะนำไปเปรียบกับการทดลองเพื่อพัฒนากระบวนการผลิตต่อไป บทที่ 2 เป็นการออกแบบชิปในการทดสอบคุณสมบัติพื้นฐานของวงจร เช่น ไดโอด เพื่อศึกษาคุณสมบัติทางไฟฟ้าของรอยต่อ ตัวเก็บประจุ เพื่อศึกษาคุณสมบัติของชั้นซิลิกอนไดออกไซด์ ทรานซิสเตอร์ เพื่อศึกษาความเร็วในการทำงานก่อนที่จะทำการต่อเป็นวงจรรวม บทที่ 3 กระบวนการปลูกฟิล์มซิลิกอนไดออกไซด์ ในส่วนนี้ก็จะกล่าวถึงการสร้างออกไซด์โดยใช้ความร้อน บทที่ 4 กระบวนการสร้างฟล์มบาง ด้วยปฏิกิริยาไอเคมี เช่นการสร้างฟิล์มซิกอนไนไตน์ บทที่ 5 กระบวนการสร้างลวดลายด้วยแสง จะกล่าวถึงอุปกรณ์และเทคนิคที่ใช้ บทที่ 6 กระบวนการเจือสาร จะกล่าวถึงเทคนิคต่างๆในการเจือสาร เช่นกระบวนการแพร่ และกระบวนการฝังประจุ บทที่ 7 กระบวนการกัดลวดลาย ในส่วนนี้จะกล่าวถึงเทคนิคในการกัดแบบแห้ง และแบบเปียก บทที่ 8 กระบวนการสร้างชั้นลวดลายโลหะ จะกล่าวถึงกระบวนการสร้างด้วยการทำให้เป็นไอ และการ สปัต บทที่ 9 กระบวนการตรวจสอบคุณสมบัติของอุปกรณ์ เช่นการตรวจสอบชนิดและความหนาของฟิล์ม ความนำไฟฟ้าหลังการยิงฝังประจุ บทที่ 10 กระบวนการสร้างวงจรรวม ในส่วนนี้จะกล่าวถึงการนำเทคนิคต่างๆที่กล่าวมาแล้วมาใช้งาน

บรรณานุกรม :
สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อนุชา เรืองพานิช , ภาวัน สยามชัย , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Suwat Sopitpan , Anucha Ruangphanit , Pavan Siamchai , Charndet Hruanun , Amporn Poyai . (2547). การอบรมวิชา Integrated Circuit Fabrication (หนังสืออ่านประกอบ).
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อนุชา เรืองพานิช , ภาวัน สยามชัย , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Suwat Sopitpan , Anucha Ruangphanit , Pavan Siamchai , Charndet Hruanun , Amporn Poyai . 2547. "การอบรมวิชา Integrated Circuit Fabrication (หนังสืออ่านประกอบ)".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อนุชา เรืองพานิช , ภาวัน สยามชัย , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Suwat Sopitpan , Anucha Ruangphanit , Pavan Siamchai , Charndet Hruanun , Amporn Poyai . "การอบรมวิชา Integrated Circuit Fabrication (หนังสืออ่านประกอบ)."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2547. Print.
สุวัฒน์ โสภิตพันธ์ , อนุชา เรืองพานิช , ภาวัน สยามชัย , ชาญเดช หรูอนันต์ , อัมพร โพธิ์ใย , Suwat Sopitpan , Anucha Ruangphanit , Pavan Siamchai , Charndet Hruanun , Amporn Poyai . การอบรมวิชา Integrated Circuit Fabrication (หนังสืออ่านประกอบ). ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2547.