ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Development of Mixed Metal Oxide Thin Films for Gas Sensor Array Applications

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Development of Mixed Metal Oxide Thin Films for Gas Sensor Array Applications
นักวิจัย : Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , E.Comini , G.. SBERVEGLIERI , Viyapol Patthanasettakul , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , วิยะพล พัฒนะเศรษฐกุล , ถนอม โลมาศ
คำค้น : e-beam evaporation , MEMS and Nanoelectronics , Metal oxide , Physical sciences , Plasma physics , Sputtering , Thin film , TiO2 , ฟิล์มบาง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สปัตเตอริง , สาขาวิทยาศาสตร์เคมีและเภสัช , โลหะออกไซด์
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/6694
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Metal oxide gas sensor is widely studied for gas sensing application. However, it suffers from low selectivity and conductivity. One of the most effective techniques to solve these problems is to form a gas sensor array based on distinctive mixed oxide nanocomposites. In this work, TiO2 based nanocomposite gas sensor array is prepared by ion-assisted electron beam evaporation. Different TiO2 composites, TiO2-WO3, TiO2-MoO3, TiO2-NiOx, and TiO2-ZnO, are made by means of metal oxide powder mixing and ion-assisted electron beam evaporation. Chemical, structural, and morphological characterizations have been performed using Scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XRD), and X-ray photoemission spectroscopy (XPS). Electrical and gas-sensing characterizations toward different gases and odors have been carried out. Electrical characterizations highlight a very peculiar and interesting behavior for the materials tested. The thin films proved sensitive to CO, NO2, ethanol, acetone and ethylene with different sensitivity, selectivity, and detection limit. These characteristically different mixed oxide nanocomposites are being applied for gas sensor array applications.

บรรณานุกรม :
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , E.Comini , G.. SBERVEGLIERI , Viyapol Patthanasettakul , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , วิยะพล พัฒนะเศรษฐกุล , ถนอม โลมาศ . (2550). Development of Mixed Metal Oxide Thin Films for Gas Sensor Array Applications.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , E.Comini , G.. SBERVEGLIERI , Viyapol Patthanasettakul , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , วิยะพล พัฒนะเศรษฐกุล , ถนอม โลมาศ . 2550. "Development of Mixed Metal Oxide Thin Films for Gas Sensor Array Applications".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , E.Comini , G.. SBERVEGLIERI , Viyapol Patthanasettakul , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , วิยะพล พัฒนะเศรษฐกุล , ถนอม โลมาศ . "Development of Mixed Metal Oxide Thin Films for Gas Sensor Array Applications."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
Anurat Wisitsoraat , Adisorn Tuantranont , E.Comini , G.. SBERVEGLIERI , Viyapol Patthanasettakul , Tanom Lomas , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , อดิสร เตือนตรานนท์ , วิยะพล พัฒนะเศรษฐกุล , ถนอม โลมาศ . Development of Mixed Metal Oxide Thin Films for Gas Sensor Array Applications. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.