ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การศึกษาการสร้างไมโครเลนส์โดยเทคนิคโฟโตลิโธกราฟีแบบเกรย์สเกล

หน่วยงาน สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การศึกษาการสร้างไมโครเลนส์โดยเทคนิคโฟโตลิโธกราฟีแบบเกรย์สเกล
นักวิจัย : จิรวัฒน์ จันต๊ะวงค์ , นิธิ อัตถิ , ชูพงษ์ ภาคภูมิ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ , กฤษฎา เสียงแจ้ว , Jirawat Jantawong , Nithi Atthi , Choopong Parkpoom , Surasak Niemcharoen , Krisda Siangchew
คำค้น : 3D-Microstructures , Chromium thin films , Electrical and electronic engineering , Electrical engineering , Engineering and technology , Gray-scale photolithography , MEMS , Multi-exposure technique , Non-vertical sidewall profile , กระบวนการถ่ายแบบลายวงจรแบบเกรย์สเกล , ผนังลายวงจรที่ไม่ตั้งตรง , ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ , สาขาวิศวกรรมศาสตร์และอุตสาหกรรมวิจัย , เครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาค , โครงสร้างจุลภาคสามมิติ
หน่วยงาน : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : http://www.nstda.or.th/thairesearch/node/6466
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

กระบวนการถ่ายแบบลายวงจรแบบเกรย์สเกล (Gray scale lithography, GSL) จัดเป็นกระบวนการที่สำคัญที่ใช้ในการสร้างโครงสร้างจุลภาคสามมิติบนชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสง โดยสามารถสร้างโครงสร้างที่มีผนังลายวงจรที่ไม่ตั้งตรง (non-vertical sidewall profile) เช่น รูปร่างแบบโค้งเว้า ลาดเอียงหรือแบบขั้นบันได โดยโครงสร้างจุลภาค 3 มิตินี้สามารถนำไปประยุกต์ใช้งานกับอุปกรณ์เครื่องจักรกลไฟฟ้าจุลภาค (Micro-Electro Mechanical System, MEMs) ได้ ซึ่งในงานวิจัยนี้ได้ประยุกต์ใช้เทคนิค GSL ในการสร้างไมโครเลนส์ชนิดนูนขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 45 ไมครอน โดยปรับเปลี่ยนระดับความหนาชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงจำนวน 12 ระดับ ด้วยกระบวนการถ่ายแบบลายวงจรและกระบวนการกัดเพียงครั้งเดียว และสามารถปรับปรุงพื้นผิวของโครงสร้างจุลภาค 3 มิติ ได้ด้วยการให้ความร้อนแก่ชั้นฟิล์มน้ำยาไวแสงภายหลังการล้างลายวงจร ซึ่งไมโครเลนส์นี้สามารถนำไปประยุกต์ใช้สำหรับรวมแสงในเซลล์แสงอาทิตย์ได้ นอกจากนี้เทคนิค GSL นี้ยังสามารถนำไปประยุกต์ใช้ในการสร้างโครงสร้างจุลภาครูปร่างอื่นๆ ทั้งนี้เพื่อประหยัดเวลาและค่าใช้จ่ายได้

Gray scale lithography (GSL) is a lithography technique used to form 3D structures on photoresist film. The 3D structures that are formed from such technique comprise of non-vertical sidewall profile; curvature profile, slope profile and step profile. Therefore technique can be used to form Micro-Electro-Mechanical System, MEMS. In this paper, the technique was employed to form a microlens with diameter of 45 m by forming 12 different thickness photoresist film after developing with one single photolithography step using GSL. The developed resist was also treated under high temperature to condition the surface of the photoresist. The microlens can be apply to focus the light to Solar cell and the GSL proves to be very economical and consumes less time than conventional lithography step to form MEMs.

บรรณานุกรม :
จิรวัฒน์ จันต๊ะวงค์ , นิธิ อัตถิ , ชูพงษ์ ภาคภูมิ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ , กฤษฎา เสียงแจ้ว , Jirawat Jantawong , Nithi Atthi , Choopong Parkpoom , Surasak Niemcharoen , Krisda Siangchew . (2550). การศึกษาการสร้างไมโครเลนส์โดยเทคนิคโฟโตลิโธกราฟีแบบเกรย์สเกล.
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จิรวัฒน์ จันต๊ะวงค์ , นิธิ อัตถิ , ชูพงษ์ ภาคภูมิ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ , กฤษฎา เสียงแจ้ว , Jirawat Jantawong , Nithi Atthi , Choopong Parkpoom , Surasak Niemcharoen , Krisda Siangchew . 2550. "การศึกษาการสร้างไมโครเลนส์โดยเทคนิคโฟโตลิโธกราฟีแบบเกรย์สเกล".
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ.
จิรวัฒน์ จันต๊ะวงค์ , นิธิ อัตถิ , ชูพงษ์ ภาคภูมิ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ , กฤษฎา เสียงแจ้ว , Jirawat Jantawong , Nithi Atthi , Choopong Parkpoom , Surasak Niemcharoen , Krisda Siangchew . "การศึกษาการสร้างไมโครเลนส์โดยเทคนิคโฟโตลิโธกราฟีแบบเกรย์สเกล."
    ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ, 2550. Print.
จิรวัฒน์ จันต๊ะวงค์ , นิธิ อัตถิ , ชูพงษ์ ภาคภูมิ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ , กฤษฎา เสียงแจ้ว , Jirawat Jantawong , Nithi Atthi , Choopong Parkpoom , Surasak Niemcharoen , Krisda Siangchew . การศึกษาการสร้างไมโครเลนส์โดยเทคนิคโฟโตลิโธกราฟีแบบเกรย์สเกล. ปทุมธานี : สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ; 2550.