ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์

หน่วยงาน จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
นักวิจัย : กิตติมา ศิลปษา
คำค้น : ซิลิกอนไนไตรด์ -- การขึ้นรูป
หน่วยงาน : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
ผู้ร่วมงาน : ไสว ด่านชัยวิจิตร , กุลจิรา สุจิโรจน์ , จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิศวกรรมศาสตร์
ปีพิมพ์ : 2545
อ้างอิง : 9741717563 , http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/11118
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

วิทยานิพนธ์ (วศ.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2545

วิทยานิพนธ์ฉบับนี้ เป็นการศึกษาผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ โดยในส่วนแรกถูกตรวจสอบด้วยการใช้ผงซิลิคอนสามขนาดซึ่งมีขนาดเฉลี่ย 3, 6 และ 12 ไมโครเมตร อัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบแนวเดียวที่ 72 MPa แล้วทำการอัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบทุกทิศทางที่ 300 MPa จากนั้นเผาผนึกขึ้นต้นที่อุณหภูมิ 1200 YC ในบรรยากาศอาร์กอนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง และทำการไนไตรเดชันที่อุณหภูมิ 1500 ํC ในบรรยากาศไนโตรเจนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง ตรวจสอบสมบัติทางกายภาพและสมบัติทางกล จากผลการทดลองพบว่าเมื่อขนาดของผงซิลิคอนเล็กลงสมบัติต่างๆ ทั้งความหนาแน่น, โมดูลัสของยัง, ความแข็ง และความแข็งแรงต่อการดัดจะมีค่าเพิ่มขึ้น ในส่วนที่สองทำการศึกษาการเกิดออกซิเดชันโดยเผาชิ้นงานรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ในบรรยากาศ ที่อุณหภูมิ 700, 800, 900 และ 1000 ํC เป็นเวลา 20 ชั่วโมง หาค่าพลังงานกระตุ้นและตรวจสอบโครงสร้างจุลภาค จากผลจากทดลองพบว่าการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิระหว่าง 700-1000 ํC มีค่าพลังงานกระตุ้นที่จะเกิดซิลิกาเป็น 209 kJ/mol (50 kcal/mol)

บรรณานุกรม :
กิตติมา ศิลปษา . (2545). ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์.
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย.
กิตติมา ศิลปษา . 2545. "ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์".
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย.
กิตติมา ศิลปษา . "ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์."
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2545. Print.
กิตติมา ศิลปษา . ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย; 2545.