ชื่อเรื่อง | : | ฟิล์มบางโปร่งใสนำไฟฟ้า ZnO(AI) เตรียมโดยอาร์เอฟและดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริงแบบตามลำดับ |
นักวิจัย | : | เกษรารัตน์ อักษรรัตน์ |
คำค้น | : | ซิงค์ออกไซด์ , ฟิล์มบาง , สปัตเตอริง (ฟิสิกส์) , โกลว์ดิสชาร์จ |
หน่วยงาน | : | จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย |
ผู้ร่วมงาน | : | ขจรยศ อยู่ดี , โศจิพงศ์ ฉัตราภรณ์ , จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิทยาศาสตร์ |
ปีพิมพ์ | : | 2545 |
อ้างอิง | : | 9741721382 , http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/10276 |
ที่มา | : | - |
ความเชี่ยวชาญ | : | - |
ความสัมพันธ์ | : | - |
ขอบเขตของเนื้อหา | : | - |
บทคัดย่อ/คำอธิบาย | : | วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2545 ฟิล์มบาง ZnO(Al) ชนิดสองชั้นเตรียมขึ้นบนวัสดุรองรับกระจกโซดาไลม์พื้นที่ 5x6 ตารางเซนติเมตร กรณีที่ 1 เตรียมโดยการสปัตเตอร์เป้า Zn และเป้า ZnO(Al[subscirpt 2]O[subscript 3] 2.5wt%) พร้อมกัน ตาม ด้วยการสปัตเตอร์เป้า ZnO(Al[subscirpt 2]O[subscript 3] 2.5wt%) โดยวิธีอาร์เอฟแมกนิตรอนสปัตเตอริง (Zn-added-ZnO(Al)/ZnO(Al)) และกรณีที่ 2 เตรียมโดยการสปัตเตอร์เป้า ZnO(Al[subscirpt 2]O[subscript 3] 2.5wt%) โดยวิธีอาร์เอฟแมกนิตรอนสปัตเตอริง ตามด้วยการสปัตเตอร์เป้า Zn และเป้า ZnO(Al[subscirpt 2]O[subscript 3] 2.5wt%) พร้อมกัน (ZnO(Al)/Zn-added-ZnO(Al)) และเลือกสภาวะของฟิล์ม ZnO(Al) ชนิดสองชั้นที่มีสมบัติทางไฟฟ้า สมบัติเชิงแสง และโครงสร้างผลึกที่เหมาะสมสำหรับการเตรียมฟิล์ม ZnO(Al) แบบตามลำดับ ความหนาของฟิล์ม Zn-added-ZnO(Al) เปลี่ยนแปลงจาก 0 เปอร์เซ็นต์ถึง 100 เปอร์เซ็นต์เป็นช่วง ช่วงละ 20 เปอร์เซ็นต์โดยความหนาของฟิล์ม ZnO(Al) แบบตามลำดับทั้งหมดคงที่ 3000 อังสตรอม สมบัติทางไฟฟ้า สมบัติเชิงแสง และโครงสร้างของฟิล์ม ZnO(Al) แบบตามลำดับศึกษาโดยการวัดปรากฏการณ์ฮอลล์ การส่งผ่านแสง และการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์ ตามลำดับ พบว่าฟิล์ม ZnO(Al) ชนิด 9 ชั้น สภาพต้านทานไฟฟ้าต่ำสุดมีค่า 5.60x10[superscript -4] โอห์ม-เซนติเมตร การส่งผ่านแสงสูงสุดซึ่งสูงกว่า 90% ในช่วงความยาวคลื่น 400-1000 นาโนเมตรและรูปแบบการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์ของฟิล์มที่ได้แสดงแกน c ของผลึกเมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุกลุ่มซิงค์ออกไซด์ |
บรรณานุกรม | : |
เกษรารัตน์ อักษรรัตน์ . (2545). ฟิล์มบางโปร่งใสนำไฟฟ้า ZnO(AI) เตรียมโดยอาร์เอฟและดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริงแบบตามลำดับ.
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. เกษรารัตน์ อักษรรัตน์ . 2545. "ฟิล์มบางโปร่งใสนำไฟฟ้า ZnO(AI) เตรียมโดยอาร์เอฟและดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริงแบบตามลำดับ".
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. เกษรารัตน์ อักษรรัตน์ . "ฟิล์มบางโปร่งใสนำไฟฟ้า ZnO(AI) เตรียมโดยอาร์เอฟและดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริงแบบตามลำดับ."
กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2545. Print. เกษรารัตน์ อักษรรัตน์ . ฟิล์มบางโปร่งใสนำไฟฟ้า ZnO(AI) เตรียมโดยอาร์เอฟและดีซีแมกนิตรอนสปัตเตอริงแบบตามลำดับ. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย; 2545.
|