ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Fabrication of nanostructure by physical vapor deposition with glancing angle deposition technique and its applications

หน่วยงาน สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Fabrication of nanostructure by physical vapor deposition with glancing angle deposition technique and its applications
นักวิจัย : Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Jakrapong Kaewkhao , Chanunthorn Chananonnawathorn , Viyapol Patthanasettakul, , , Saksorn Limwichean , Noppadon Nuntawong , Pongpan Chindaudom
คำค้น : Glancing angle deposition , Nanostructure , Physical vapor deposition , Sculptured thin films
หน่วยงาน : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2557
อ้างอิง : AIP conference proceedings. 1617 (2014) pp. 7-11 , 0094-243X , http://dspace.library.tu.ac.th/handle/3517/7810
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

A nanostructural thin film is one of the highly exploiting research areas particularly in applications in sensor, photocatalytic, and solar-cell technologies. In the past two decades, the integration of glancing-angle deposition (GLAD) technique to physical vapor deposition (PVD) process has gained significant attention for well-controlled multidimensional nanomorphologies because of fast, simple, cost-effective, and mass-production capability. The performance and functional properties of the coated thin films generally depend upon their nanostructural compositions, i.e., large aspect ratio, controllable porosity, and shape. Such structural platforms make the fabricated thin films very practical for several realistic applications. We therefore present morphological and nanostructural properties of various deposited materials, which included metals, i.e., silver (Ag), and oxide compounds, i.e., tungsten oxide (WO3), titanium dioxide (TiO2), and indium tin oxide (ITO). Different PVD techniques based on DC magnetron sputtering and electron-beam evaporation, both with the integrated GLAD component, were discussed. We further explore engineered nanostructures which enable controls of optical, electrical, and mechanical properties. These improvements led to several practical applications in surface-enhanced Raman, smart windows, gas sensors, self-cleaning materials and transparent conductive oxides (TCO).

บรรณานุกรม :
Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Jakrapong Kaewkhao , Chanunthorn Chananonnawathorn , Viyapol Patthanasettakul, , , Saksorn Limwichean , Noppadon Nuntawong , Pongpan Chindaudom . (2557). Fabrication of nanostructure by physical vapor deposition with glancing angle deposition technique and its applications.
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Jakrapong Kaewkhao , Chanunthorn Chananonnawathorn , Viyapol Patthanasettakul, , , Saksorn Limwichean , Noppadon Nuntawong , Pongpan Chindaudom . 2557. "Fabrication of nanostructure by physical vapor deposition with glancing angle deposition technique and its applications".
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Jakrapong Kaewkhao , Chanunthorn Chananonnawathorn , Viyapol Patthanasettakul, , , Saksorn Limwichean , Noppadon Nuntawong , Pongpan Chindaudom . "Fabrication of nanostructure by physical vapor deposition with glancing angle deposition technique and its applications."
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ , 2557. Print.
Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Jakrapong Kaewkhao , Chanunthorn Chananonnawathorn , Viyapol Patthanasettakul, , , Saksorn Limwichean , Noppadon Nuntawong , Pongpan Chindaudom . Fabrication of nanostructure by physical vapor deposition with glancing angle deposition technique and its applications. กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ ; 2557.