ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Fabrication of tantalum oxide nanorods by DC magnetron sputtering with glancing angle deposition

หน่วยงาน สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Fabrication of tantalum oxide nanorods by DC magnetron sputtering with glancing angle deposition
นักวิจัย : Theerayuth Plirdpring , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Saksorn Limwichean , Chanunthorn Chananonnawathorn , T. Boonpichayapha , Tawat Suriwong
คำค้น : Glancing angle deposition , Sputtering , Tantalum oxide
หน่วยงาน : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2557
อ้างอิง : Advanced materials research. 979 (2014) pp.196-199 , 1662-8985 , http://dspace.library.tu.ac.th/handle/3517/7608
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This study investigates tantalum oxide (Ta2O5) nanorods prepared by the dc magnetron sputtering with the glancing angle deposition (GLAD) technique. Silicon (100) wafer and glass slides were used as the substrates. The effect of the glancing angle varying from 73-87°, on the structural and optical properties were investigated by field-emission scanning electron microscopy (FE-SEM), atomic force microscope (AFM) and spectrophotometry. The results show that the deposition rate and diameter of Ta2O5 nanorod films were decreased with the increase in the glancing angle. At the highest glancing angle of 87°, the prepared Ta2O5 nanorod yielded the highest porosity from the vertically aligned columnar structure, and were must suitable for many functional applications. © (2014) Trans Tech Publications, Switzerland.

บรรณานุกรม :
Theerayuth Plirdpring , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Saksorn Limwichean , Chanunthorn Chananonnawathorn , T. Boonpichayapha , Tawat Suriwong . (2557). Fabrication of tantalum oxide nanorods by DC magnetron sputtering with glancing angle deposition.
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Theerayuth Plirdpring , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Saksorn Limwichean , Chanunthorn Chananonnawathorn , T. Boonpichayapha , Tawat Suriwong . 2557. "Fabrication of tantalum oxide nanorods by DC magnetron sputtering with glancing angle deposition".
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Theerayuth Plirdpring , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Saksorn Limwichean , Chanunthorn Chananonnawathorn , T. Boonpichayapha , Tawat Suriwong . "Fabrication of tantalum oxide nanorods by DC magnetron sputtering with glancing angle deposition."
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ , 2557. Print.
Theerayuth Plirdpring , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Saksorn Limwichean , Chanunthorn Chananonnawathorn , T. Boonpichayapha , Tawat Suriwong . Fabrication of tantalum oxide nanorods by DC magnetron sputtering with glancing angle deposition. กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ ; 2557.