ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Preparation of WO3 nanorods by glancing angle DC reactive magnetron sputtering deposition for NO2 gas sensing application

หน่วยงาน สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Preparation of WO3 nanorods by glancing angle DC reactive magnetron sputtering deposition for NO2 gas sensing application
นักวิจัย : T. Srichaiyaperk , K. Aimpanakit , Mati Horprathum , S. Limwichean , C. Chananonnawathorn , C. Chananonnawathorn , Anurat Wisitsoraat , Benjarong Samransuksamer , Ditsayut Phokharatkul , Pitak Eiamchai , Pongpan Chindaudom
คำค้น : Glancing angle deposition , Nanorods , NO2 sensor , Sputtering , Tungsten oxide
หน่วยงาน : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2556
อ้างอิง : Advanced materials research. 770, 2013 (2013) pp.0267-270 , 1022-6680 , http://dspace.library.tu.ac.th/handle/3517/7058
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In this study, we present a tungsten trioxide (WO3) nanorods based gas sensor for NO2 sensing at operating temperature range 150-350 °C in purify dry air carrier. WO3 nanorods were fabricated by dc reactive magnetron sputtering with glancing angle deposition (GLAD) technique on silicon (100) wafer and alumina substrates interdigitated with gold electrode. The length of WO3 nanorods was varied from 370 nm to 620 nm. As-deposited nanorods were annealed at a temperature of 400 °C in air for 1 h. The microstructure and phase structure of WO3 nanorod were characterized by X-ray diffraction (XRD) and field-emission scanning electron microscopy (FESEM), respectively. XRD of annealed WO3 nanorod showed polycrystalline phase. The WO3 nanorods length 420 nm exhibit excellent NO2 sensing properties with a maximum sensitivity of 360 at 250 °C operating temperature with fast response and recovery time. © (2013) Trans Tech Publications, Switzerland.

บรรณานุกรม :
T. Srichaiyaperk , K. Aimpanakit , Mati Horprathum , S. Limwichean , C. Chananonnawathorn , C. Chananonnawathorn , Anurat Wisitsoraat , Benjarong Samransuksamer , Ditsayut Phokharatkul , Pitak Eiamchai , Pongpan Chindaudom . (2556). Preparation of WO3 nanorods by glancing angle DC reactive magnetron sputtering deposition for NO2 gas sensing application.
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
T. Srichaiyaperk , K. Aimpanakit , Mati Horprathum , S. Limwichean , C. Chananonnawathorn , C. Chananonnawathorn , Anurat Wisitsoraat , Benjarong Samransuksamer , Ditsayut Phokharatkul , Pitak Eiamchai , Pongpan Chindaudom . 2556. "Preparation of WO3 nanorods by glancing angle DC reactive magnetron sputtering deposition for NO2 gas sensing application".
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
T. Srichaiyaperk , K. Aimpanakit , Mati Horprathum , S. Limwichean , C. Chananonnawathorn , C. Chananonnawathorn , Anurat Wisitsoraat , Benjarong Samransuksamer , Ditsayut Phokharatkul , Pitak Eiamchai , Pongpan Chindaudom . "Preparation of WO3 nanorods by glancing angle DC reactive magnetron sputtering deposition for NO2 gas sensing application."
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ , 2556. Print.
T. Srichaiyaperk , K. Aimpanakit , Mati Horprathum , S. Limwichean , C. Chananonnawathorn , C. Chananonnawathorn , Anurat Wisitsoraat , Benjarong Samransuksamer , Ditsayut Phokharatkul , Pitak Eiamchai , Pongpan Chindaudom . Preparation of WO3 nanorods by glancing angle DC reactive magnetron sputtering deposition for NO2 gas sensing application. กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ ; 2556.