ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ

หน่วยงาน จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ
นักวิจัย : สุจิรา พรหมนิมิตร
คำค้น : ฟิล์มบาง , พลาสมา , กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน , รามานสเปกโทรสโกปี
หน่วยงาน : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
ผู้ร่วมงาน : บุญโชติ เผ่าสวัสดิ์ยรรยง , กิรณันต์ รัตนธรรมพันธ์ , จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย. คณะวิทยาศาสตร์
ปีพิมพ์ : 2546
อ้างอิง : 9741737262 , http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/5730
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

วิทยานิพนธ์ (วท.ม.)--จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546

งานวิจัยนี้ได้ทำการพัฒนาระบบการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ (RF-PECVD) ควบผ่านขดลวดเหนี่ยวนำระนาบ โดยใช้เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุที่ 13.56 MHz เป็นต้นกำลัง ก๊าซผสมระหว่างก๊าซไฮโดรเจน และก๊าซมีเทนถูกส่งเข้าสู่ระบบเพื่อเป็นตัวกลางพลาสมา เพื่อใช้ในการเคลือบฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรบนแผ่นรองรับ ได้แก่ อะลูมิเนียม และกระจกสไลด์ เมื่อกระบวนการสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรเสร็จสิ้น ฟิล์มที่ได้นำไปวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกวาดและการวิเคราะห์โครงสร้างของฟิล์มด้วยวิธีรามานสเปกโทรสโกปี

บรรณานุกรม :
สุจิรา พรหมนิมิตร . (2546). การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ.
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย.
สุจิรา พรหมนิมิตร . 2546. "การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ".
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย.
สุจิรา พรหมนิมิตร . "การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ."
    กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย, 2546. Print.
สุจิรา พรหมนิมิตร . การสังเคราะห์ฟิล์มบางคาร์บอนคล้ายเพชรโดยวิธีการตกสะสมไอเชิงเคมีเสริมด้วยพลาสมาที่ความถี่วิทยุ. กรุงเทพมหานคร : จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย; 2546.