ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Determination of the thickness and optical constants of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric method

หน่วยงาน สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Determination of the thickness and optical constants of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric method
นักวิจัย : Yusoh, R. , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Soontorn Chanyawadee , Kamon Aiempanakit
คำค้น : Optical constants , ZrO2 , Spectroscopic ellipsometry , Spectrophotometric method
หน่วยงาน : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2554
อ้างอิง : Procedia engineering. 8 (2011) pp. 223-227 , 1877-7058 , http://dspace.library.tu.ac.th/handle/3517/5572
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

ZrO2 thin films deposited on silicon wafer and glass substrate by dc magnetron sputtering with different deposition time. Film thickness and refractive index of ZrO2 films have been studied by using spectroscopic ellipsometry (SE) and spectrophotometric method (SM). The film thicknesses of both methods were compared with the film thickness which determined from field emission scanning microscopy (FE-SEM). The results found that the films thickness was increased when the deposition time was increased and all films still remained highly transparent. Finally, our results suggest that SE can effectively to characterize the film thickness and optical properties of ZrO2 films

บรรณานุกรม :
Yusoh, R. , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Soontorn Chanyawadee , Kamon Aiempanakit . (2554). Determination of the thickness and optical constants of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric method.
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Yusoh, R. , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Soontorn Chanyawadee , Kamon Aiempanakit . 2554. "Determination of the thickness and optical constants of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric method".
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Yusoh, R. , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Soontorn Chanyawadee , Kamon Aiempanakit . "Determination of the thickness and optical constants of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric method."
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ , 2554. Print.
Yusoh, R. , Mati Horprathum , Pitak Eiamchai , Soontorn Chanyawadee , Kamon Aiempanakit . Determination of the thickness and optical constants of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometric method. กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ ; 2554.