ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Fabrication of monolithic 3D micro-systems

หน่วยงาน สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Fabrication of monolithic 3D micro-systems
นักวิจัย : Pakorn Preechaburana , Filippini, Daniel
คำค้น : Monolithic 3D , Fabrication , Microfabrication method , Microscope projection photolithography , Stereolithography , Microfluidics , Photoresists , Lithography , Technology , MEMS , PDMS , MASK
หน่วยงาน : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2554
อ้างอิง : Lab on a chip : miniaturisation for chemistry and biology. 11,2 (2011) pp. 288-295 , 1473-0197 , http://dspace.library.tu.ac.th/handle/3517/5401
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This article describes a method and platform for fast prototyping of monolithic 3D microstructures, capable of producing arbitrary positive, negative and suspended 3D geometries, as well as sealed spaces and aligned 3D geometries using standard photoresists and few fabrication steps. Here a microfabrication method employing a mask-less micro-projection lithography platform, which co-exists on a routine fluorescence microscope, has been refined to produce a variety of 3D microstructures with up to 5 mm spatial resolutions and 10 : 1 aspect ratios, as well as its integration within macroscopic areas of several millimetres with up to 30 mu m spatial resolutions.

บรรณานุกรม :
Pakorn Preechaburana , Filippini, Daniel . (2554). Fabrication of monolithic 3D micro-systems.
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Pakorn Preechaburana , Filippini, Daniel . 2554. "Fabrication of monolithic 3D micro-systems".
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ .
Pakorn Preechaburana , Filippini, Daniel . "Fabrication of monolithic 3D micro-systems."
    กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ , 2554. Print.
Pakorn Preechaburana , Filippini, Daniel . Fabrication of monolithic 3D micro-systems. กรุงเทพมหานคร : สถาบันวิจัยและให้คำปรึกษาแห่ง มหาวิทยาลัยธรรมศาสตร์ ; 2554.