ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing.

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing.
นักวิจัย : Olfatnia, Mohammad.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Mechanical engineering::Mechanics and dynamics.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2554
อ้างอิง : Olfatnia, M. (2011). A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/47725
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This thesis reports theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platform for physical and biological sensing. The microdiaphragms were first designed and then fabricated by MEMS fabrication processes. Their different characteristics such as frequency behavior, mode shapes, coupling factor, quality factor (Q-factor), nonlinear vibrations, mass sensitivity, and pressure sensitivity were studied theoretically and experimentally. Finally, they have been applied for two different schemes of sensing; mass sensing and pressure sensing. These experimental results demonstrate promising perspective of piezoelectric microdiaphragms as physical and chemical sensors.

บรรณานุกรม :
Olfatnia, Mohammad. . (2554). A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing..
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Olfatnia, Mohammad. . 2554. "A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing.".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Olfatnia, Mohammad. . "A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing.."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2554. Print.
Olfatnia, Mohammad. . A theoretical and experimental study of piezoelectric microdiaphragm platforms for physical and biological sensing.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2554.