ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.
นักวิจัย : Yu, Ting.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Electric apparatus and materials. , DRNTU::Engineering::Materials::Microelectronics and semiconductor materials::Thin films.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2548
อ้างอิง : Yu, T. (2005). Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique. Doctoral thesis, Nanyang Technological University, Singapore. , http://hdl.handle.net/10356/3434
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

There are growing interests in high-k dielectric materials because of their broad future applications for semiconductor industry such as alternative gate oxide, high-density storage capacitors, and high-voltage capacitors.The sol-gel derived CaxSr1-xZrO3 dielectric thin films have been systematically investigated for potential electronic device applications.

บรรณานุกรม :
Yu, Ting. . (2548). Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique..
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Yu, Ting. . 2548. "Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Yu, Ting. . "Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2548. Print.
Yu, Ting. . Deposition and characterization of high-K (Ca,Sr)ZrO3 thin films using sol-gel technique.. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2548.