ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics
นักวิจัย : Qin, Xianpeng , Zhou, Guohong , Yang, Hao , Wong, Jen It , Zhang, Jian , Luo, Dewei , Wang, Shiwei , Ma, Jan , Tang, Dingyuan
คำค้น : -
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2554
อ้างอิง : Qin, X., Zhou, G., Yang, H., Wong, J. I., Zhang, J., Luo, D., Wang, S., Ma, J.,& Tang, D. (2012). Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics. Ceramics International, 38(3), 2529-2535. , 0272-8842 , http://hdl.handle.net/10220/12829 , http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2011.11.023
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Ceramics International
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

High quality transparent yttrium aluminum garnet (YAG) ceramics with an average grain size of about 12 μm have been fabricated by a solid state reactive sintering method. Plasma resistance property of the fabricated YAG ceramics was studied and compared with that of the Y2O3 ceramics, silicate glass and quartz. The YAG ceramics showed an excellent plasma resistance as well as Y2O3 ceramics. After etching in F-plasma for 6 h, the eroded depth of YAG ceramics was about 100 nm. The plasma resistance of YAG ceramics was far better than that of silicate glass and quartz.

บรรณานุกรม :
Qin, Xianpeng , Zhou, Guohong , Yang, Hao , Wong, Jen It , Zhang, Jian , Luo, Dewei , Wang, Shiwei , Ma, Jan , Tang, Dingyuan . (2554). Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Qin, Xianpeng , Zhou, Guohong , Yang, Hao , Wong, Jen It , Zhang, Jian , Luo, Dewei , Wang, Shiwei , Ma, Jan , Tang, Dingyuan . 2554. "Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Qin, Xianpeng , Zhou, Guohong , Yang, Hao , Wong, Jen It , Zhang, Jian , Luo, Dewei , Wang, Shiwei , Ma, Jan , Tang, Dingyuan . "Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2554. Print.
Qin, Xianpeng , Zhou, Guohong , Yang, Hao , Wong, Jen It , Zhang, Jian , Luo, Dewei , Wang, Shiwei , Ma, Jan , Tang, Dingyuan . Fabrication and plasma resistance properties of transparent YAG ceramics. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2554.