ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film
นักวิจัย : Chen, Rui , Qi, D. F. , Ruan, Y. J. , Pan, S. W. , Chen, S. Y. , Xie, Sheng , Li, Cheng , Lai, H. K. , Sun, H. D.
คำค้น : -
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2554
อ้างอิง : Chen, R., Qi, D. F., Ruan, Y. J., Pan, S. W., Chen, S. Y., Xie, S., Li, C., Lai, H. K.,& Sun, H. D. (2012). Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film. Applied Physics A, 106(1), 251-255. , http://hdl.handle.net/10220/12544 , http://dx.doi.org/10.1007/s00339-011-6592-9
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Applied physics A
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

The investigations of silicon-rich silicon nitride film grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition and then annealed by excimer laser have been carried out systematically. The surface roughness and the crystallization of the films have significantly been improved after the excimer laser annealing. The samples demonstrate visible photoluminescence emission under optical excitation at room temperature. It is found that the emission peak energy as well as emission intensity changes with laser annealing conditions, and the relevant mechanism is discussed in detail. Our investigation exhibits the size controllability of silicon nanocrystals embedded in the silicon nitride film, which implies promising applications in optoelectronic devices such as light-emitting diodes and solar cells.

บรรณานุกรม :
Chen, Rui , Qi, D. F. , Ruan, Y. J. , Pan, S. W. , Chen, S. Y. , Xie, Sheng , Li, Cheng , Lai, H. K. , Sun, H. D. . (2554). Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Chen, Rui , Qi, D. F. , Ruan, Y. J. , Pan, S. W. , Chen, S. Y. , Xie, Sheng , Li, Cheng , Lai, H. K. , Sun, H. D. . 2554. "Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Chen, Rui , Qi, D. F. , Ruan, Y. J. , Pan, S. W. , Chen, S. Y. , Xie, Sheng , Li, Cheng , Lai, H. K. , Sun, H. D. . "Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2554. Print.
Chen, Rui , Qi, D. F. , Ruan, Y. J. , Pan, S. W. , Chen, S. Y. , Xie, Sheng , Li, Cheng , Lai, H. K. , Sun, H. D. . Effect of excimer laser annealing on the silicon nanocrystals embedded in silicon-rich silicon nitride film. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2554.