ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor
นักวิจัย : Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin
คำค้น : DRNTU::Engineering::Mechanical engineering.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2555
อ้างอิง : Heidari, A., Yoon, Y.-J., Park, M. K., Park, W.-T., & Tsai, J. M.-L. (2012). High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor. Sensors and Actuators A: Physical, 188, 82-88. , 0924-4247 , http://hdl.handle.net/10220/12124 , http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2012.03.040
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Sensors and actuators A: physical
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

A new high performance mass sensor is designed and fabricated. The mass sensor is a single-crystal silicon squared resonator with dielectric filled capacitive excitation mechanism. The resonators were fabricated using the silicon-on-insulator MEMS process. In order to study the mass sensitivity of the fabricated resonator, a polyelectrolyte multilayer (PEM) is used to coat on the resonator surface. The resonator has the resonance frequency of 34.81 MHz, mass sensitivity of 105.4 μm2/ng. Experimental measurements of the mass sensitivities agree with theoretical predictions. The new developed mass sensor shows a high potential to be used in gas sensing and bio detection applications.

บรรณานุกรม :
Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . (2555). High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . 2555. "High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . "High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2555. Print.
Heidari, Amir , Yoon, Yong-Jin , Park, Mi Kyoung , Park, Woo-Tae , Tsai, Julius Ming-Lin . High sensitive dielectric filled Lamé mode mass sensor. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2555.