ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film
นักวิจัย : Tan, Eu Jin , Kon, M. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Zhang, Y. W. , Wang, W. D. , Chi, Dong Zhi
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials::Microelectronics and semiconductor materials::Thin films
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2548
อ้างอิง : Tan, E. J., Kon, M. L., Pey, K. L., Lee, P. S., Zhang, Y. W., Wang, W. D., et al. (2006). Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film. Thin Solid Films, 504(1-2), 157-160. , 0040-6090 , http://hdl.handle.net/10220/10497 , http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2005.09.067
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Thin solid films
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In a materials study of ErSi2/Si(001) as a potential candidate for Schottky source/drain NMOS application, the properties of ErSi2 thin film were investigated with varying degrees of Si(001) surface amorphization. The amorphization was carried out by in situ Ar plasma cleaning and Si pre-amorphization implant. It was found that the ErSi2 thin film becomes smoother but less textured and less epitaxial with Si(001) with increasing degree of the Si surface amorphization. In addition, an increased oxygen penetration during rapid thermal annealing occurs with increasing substrate amorphization.

บรรณานุกรม :
Tan, Eu Jin , Kon, M. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Zhang, Y. W. , Wang, W. D. , Chi, Dong Zhi . (2548). Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Tan, Eu Jin , Kon, M. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Zhang, Y. W. , Wang, W. D. , Chi, Dong Zhi . 2548. "Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Tan, Eu Jin , Kon, M. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Zhang, Y. W. , Wang, W. D. , Chi, Dong Zhi . "Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2548. Print.
Tan, Eu Jin , Kon, M. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Zhang, Y. W. , Wang, W. D. , Chi, Dong Zhi . Effects of Si(001) surface amorphization on ErSi2 thin film. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2548.