ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films
นักวิจัย : Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Mangelinck, D. , Ding, Jun , Osipowicz, T. , See, A.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials::Microelectronics and semiconductor materials
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2545
อ้างอิง : Lee, P. S., Pey, K. L., Mangelick, D., Ding, J., Osipowicz, T., & See, A. (2002). Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films. Electrochemical and Solid-State Letters, 5(3), G15-G17. , http://hdl.handle.net/10220/8097 , http://dx.doi.org/10.1149/1.1447442
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Electrochemical and solid-state letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

The formation of Ni silicides has been improved with Ni(Pt)-silicidation on the mixed phase Si films which were grown using the rapid thermal chemical vapor deposition technique. The Ni(Pt)Si was stabilized up to 800°C and layer inversion was retarded beyond 600°C. The enhanced stability of Ni(Pt)Si is attributed to the change in Gibbs free energy. The reduced layer inversion is due to the modification of the Si microstructure that has played an important role in the layer inversion. The enlarged poly-Si grains from the mixed phase films are due to the silicide enhanced mediated crystallization using NiSi2 precipitates as seeds besides the preexisting Si crystallites.

บรรณานุกรม :
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Mangelinck, D. , Ding, Jun , Osipowicz, T. , See, A. . (2545). Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Mangelinck, D. , Ding, Jun , Osipowicz, T. , See, A. . 2545. "Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Mangelinck, D. , Ding, Jun , Osipowicz, T. , See, A. . "Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2545. Print.
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Mangelinck, D. , Ding, Jun , Osipowicz, T. , See, A. . Layer inversion of Ni(Pt)Si on mixed phase Si films. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2545.