ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers
นักวิจัย : Chow, F. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chong, Y. F.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials::Microelectronics and semiconductor materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2547
อ้างอิง : Chow, F. L., Pey, K. L., Lee, P. S., Tung, C. H., Wang, X. C., Lim, G. C., et al. (2004). Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers. Electrochemical and Solid-State Letters, 7(10), G213-G215. , http://hdl.handle.net/10220/8094 , http://dx.doi.org/10.1149/1.1788612
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Electrochemical and solid-state letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

A bilayered CoTi silicide structure consisting of an amorphous CoTi silicide and a highly textured CoTi silicide was found after pulsed excimer laser annealing of titanium/cobalt/silicon stack at high fluence of 0.6 J/cm2. The highly textured CoTi silicide is monocrystalline and fully coherent with the Si(111) plane of the substrate but has a large amount of microstructural defects. The constitutional supercooling phenomenon is the solidification mechanism responsible for the highly textured CoTi silicide. The incomplete crystallization shown by the presence of the amorphous CoTi silicide is attributed to a high concentration of titanium impurity.

บรรณานุกรม :
Chow, F. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chong, Y. F. . (2547). Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Chow, F. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chong, Y. F. . 2547. "Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Chow, F. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chong, Y. F. . "Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2547. Print.
Chow, F. L. , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chong, Y. F. . Silicide formation from laser thermal processing of Ti/Co bilayers. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2547.