ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Pyramidal structural defects in erbium silicide thin films

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Pyramidal structural defects in erbium silicide thin films
นักวิจัย : Tan, Eu Jin , Bouville, Mathieu , Chi, Dong Zhi , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Srolovitz, David J. , Tung, Chih Hang
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : Tan, E. J., Bouville, M., Chi, D. Z., Pey, K. L., Lee, P. S., Srolovitz, D. J., et al. (2006). Pyramidal structural defects in Erbium silicide thin films. Applied Physics Letters, 88(2). , http://hdl.handle.net/10220/8074 , http://dx.doi.org/10.1063/1.2162862
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Applied physics letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Pyramidal structural defects, 5–8 μm wide, have been discovered in thin films of epitaxial ErSi2−x formed by annealing thin Er films on Si(001) substrates at temperatures of 500–800 °C. The formation of these defects is not due to oxidation. We propose that they form as a result of the separation of the silicide film from the substrate and its buckling in order to relieve the compressive, biaxial epitaxial stresses. Silicon can then diffuse through the silicide or along the interface to fully or partially fill the void between the buckled erbium disilicide film and the substrate.

บรรณานุกรม :
Tan, Eu Jin , Bouville, Mathieu , Chi, Dong Zhi , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Srolovitz, David J. , Tung, Chih Hang . (2549). Pyramidal structural defects in erbium silicide thin films.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Tan, Eu Jin , Bouville, Mathieu , Chi, Dong Zhi , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Srolovitz, David J. , Tung, Chih Hang . 2549. "Pyramidal structural defects in erbium silicide thin films".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Tan, Eu Jin , Bouville, Mathieu , Chi, Dong Zhi , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Srolovitz, David J. , Tung, Chih Hang . "Pyramidal structural defects in erbium silicide thin films."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2549. Print.
Tan, Eu Jin , Bouville, Mathieu , Chi, Dong Zhi , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See , Srolovitz, David J. , Tung, Chih Hang . Pyramidal structural defects in erbium silicide thin films. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2549.