ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Multiple-pulse laser thermal annealing for the formation of Co-silicided junction

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Multiple-pulse laser thermal annealing for the formation of Co-silicided junction
นักวิจัย : Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Chow, F. L. , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : Lee, P. S., Pey, K. L., Chow, F. L., Tang, L. J., Tung, C. H., Wang, X. C., et al. (2006). Multiple-pulse Laser Thermal Annealing for the Formation of Co-silicided Junction. IEEE Electron Device Letters, 27(4), 237-239. , http://hdl.handle.net/10220/8339 , http://dx.doi.org/10.1109/LED.2006.871536
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : IEEE electron device letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Formation of Co-silicide contact layers on narrow silicon regions using multiple-pulse excimer laser annealing is demonstrated. Excellent performance of junction leakage behavior can be attained on narrow-width n+/p and p+/n junction as compared with standard rapid thermal annealed samples. Liquid-phase epitaxial Co-silicide regrowth has been found to occur and create a smooth and abrupt silicide/Si interface with high junction integrity using multiple-pulse laser annealing. Heat confinement created by the shallow trench isolation surrounding the narrow-width n+/p and p+/n junctions has minimized rapid quenching that might result in an amorphous structure. This has facilitated the crystallization of Co-silicide with multiple-pulse laser annealing.

บรรณานุกรม :
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Chow, F. L. , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . (2549). Multiple-pulse laser thermal annealing for the formation of Co-silicided junction.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Chow, F. L. , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . 2549. "Multiple-pulse laser thermal annealing for the formation of Co-silicided junction".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Chow, F. L. , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . "Multiple-pulse laser thermal annealing for the formation of Co-silicided junction."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2549. Print.
Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Chow, F. L. , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . Multiple-pulse laser thermal annealing for the formation of Co-silicided junction. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2549.