ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers
นักวิจัย : Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : Chow, F. L., Lee, P. S., Pey, K. L., Tang, L. J., Tung, C. H., Wang, X. C., et al. (2006). Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers. Journal of Applied Physics, 99(4). , http://hdl.handle.net/10220/8022 , http://dx.doi.org/10.1063/1.2171774
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Journal of applied physics
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This paper studies the effects of pulsed laser-induced annealing of TiN-capped Co/Si bilayers with and without preamorphized Si substrate. For a low fluence of 0.2 J /cm2, nonstoichiometry Co silicide with triple-layered structure is formed. On the other hand, highly textured CoSi2 grains in (111) direction are formed for a high fluence of 0.7 J /cm2. The highly textured CoSi2 layer is monocrystalline and fully coherent with the (111) plane of the Si substrate. However, it has a large amount of microstructural defects throughout the layer. Competitive growth mechanisms between crystallization of homogenous intermixed layer and the nucleation from the melt boundary are discussed.

บรรณานุกรม :
Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . (2549). Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . 2549. "Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . "Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2549. Print.
Chow, F. L. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Tang, L. J. , Tung, Chih Hang , Wang, X. C. , Lim, G. C. . Pulsed laser induced silicidation on TiN-capped Co/Si bilayers. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2549.