ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing
นักวิจัย : Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chow, F. L.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2550
อ้างอิง : Setiawan, Y., Lee, P. S., Pey, K. L., Wang, X. C., Lim, G. C., & Chow, F. L. (2007). Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing. Journal of Applied Physics, 101(3). , http://hdl.handle.net/10220/8009 , http://dx.doi.org/10.1063/1.2433707
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Journal of applied physics
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

The effect of multiple-pulsed laser irradiation on Ni silicide formation in Ni(Ti) /Si system was studied. A layered structure consisting of both crystalline NiSi2 and Ni-rich Ni–Si amorphous phases with a protective TiOx overlayer was formed after five-pulsed laser annealing at 0.4 J cm−2. Different solidification velocities caused by a variation in the atomic concentration across the melt have led to the formation of this layered structure. On the other hand, by increasing the number of laser pulses, a continuous layer of polycrystalline NiSi was obtained after a 20-pulsed laser annealing at 0.3 J cm−2 laser fluence. Its formation is attributed to a better elemental mixing which occurred during subsequent pulses. Enhancement of surface absorption and remelting of the phases formed is proposed as the mechanism governing the continuous NiSi layer formation.

บรรณานุกรม :
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chow, F. L. . (2550). Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chow, F. L. . 2550. "Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chow, F. L. . "Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2550. Print.
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. , Lim, G. C. , Chow, F. L. . Nickel silicide formation using multiple-pulsed laser annealing. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2550.