ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates
นักวิจัย : Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Balakumar, S. , Pey, Kin Leong , Wang, X. C.
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : Setiawan, Y., Lee, P. S., Balakumar, S., Pey, K. L., & Wang, X. C. (2008). Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates. Electrochemical and Solid-State Letters, 11(9). , http://hdl.handle.net/10220/8005 , http://dx.doi.org/10.1149/1.2953682
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Electrochemical and solid-state letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Laser-induced melt-mediated Ni-based germanosilicide has been formed on condensed SiGe substrates (with 40% Ge). Pure Ni germanosilicide formation was plagued by the presence of amorphous oxygen-rich globules. Platinum alloying has greatly improved the morphology of the laser-induced Ni(Pt) germanosilicide with the alleviation of oxygen incorporation during laser annealing. This results in an improvement in the surface roughness and electrical conductivity of the germanosilicide film. Low affinity of Pt toward oxygen is believed to have resulted in this improvement.

บรรณานุกรม :
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Balakumar, S. , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. . (2551). Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Balakumar, S. , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. . 2551. "Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Balakumar, S. , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. . "Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2551. Print.
Setiawan, Y. , Lee, Pooi See , Balakumar, S. , Pey, Kin Leong , Wang, X. C. . Laser-induced melt-mediated Ni(Pt) germanosilicide formation on condensed Si1-xGex/Si substrates. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2551.