ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate
นักวิจัย : Setiawan, Y. , Balakumar, S. , Tan, Eu Jin , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : Setiawan, Y., Balakumar, S., Tan, E. J., Pey, K. L., & Lee, P. S. (2009). Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate. Journal of the Electrochemical Society, 156(6). , http://hdl.handle.net/10220/8004 , http://dx.doi.org/10.1149/1.3121204
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Journal of the electrochemical society
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

A study of Ni and Ni(Pt) germanosilicidation on a condensed Si1−xGex/Si substrate was performed. The partial relaxation of the condensed SiGe layer resulted in an improvement in the morphological stability of the germanosilicide through the alleviation of compressive stress. Pt alloying to the Ni film resulted in highly textured Ni(Pt) germanosilicide grains, particularly in the (002) orientation, due to the reduction in the interfacial energy caused by the presence of Pt alloy. Pt atoms diffuse slowly and result in a variation in lattice parameters in the Ni(Pt)SiGe grain as a function of depth. Nevertheless, Pt alloying has increased the morphological stability of the NiPtSiGe film.

บรรณานุกรม :
Setiawan, Y. , Balakumar, S. , Tan, Eu Jin , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See . (2552). Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Setiawan, Y. , Balakumar, S. , Tan, Eu Jin , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See . 2552. "Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Setiawan, Y. , Balakumar, S. , Tan, Eu Jin , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See . "Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2552. Print.
Setiawan, Y. , Balakumar, S. , Tan, Eu Jin , Pey, Kin Leong , Lee, Pooi See . Textured Ni(Pt) germanosilicide formation on a condensed Si1-xGex/Si substrate. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2552.