ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface
นักวิจัย : Gan, Zhenghao , Chen, Zhong , Mhaisalkar, Subodh Gautam , Damayanti, M. , Chen, Zhe , Prasad, K. , Zhang, Sam , Jiang, Ning
คำค้น : DRNTU::Engineering::Materials.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2549
อ้างอิง : Gan, Z., Chen, Z., Mhaisalkar, S. G., Damayanti, M., Chen, Z., Prasad, K., et. al. (2006). Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface. Applied physics letters, 88 (23). , http://hdl.handle.net/10220/7697 , http://dx.doi.org/10.1063/1.2212533
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Applied physics letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Reliability of the Cu/low-k structure is a serious concern since the metal/dielectric interface is generally weak. The adhesion of the Ta/polyarylene ether interfaces with and without electron beam (EB) treatment was investigated by four-point bending test, x-ray photoelectron spectroscopy, and density functional theory. Higher adhesion energy (Gc) was achieved with low-dose EB treatment, attributed to the strong Ta-arene interaction. However, high-dose EB breaks the aromatic rings partially, resulting in fewer available sites for Ta-arene bonding, leading to lower adhesion. It is suggested that the amount of carbon atoms involved in bonding with the metal is the key to improve the Ta/polymer adhesion.

บรรณานุกรม :
Gan, Zhenghao , Chen, Zhong , Mhaisalkar, Subodh Gautam , Damayanti, M. , Chen, Zhe , Prasad, K. , Zhang, Sam , Jiang, Ning . (2549). Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Gan, Zhenghao , Chen, Zhong , Mhaisalkar, Subodh Gautam , Damayanti, M. , Chen, Zhe , Prasad, K. , Zhang, Sam , Jiang, Ning . 2549. "Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Gan, Zhenghao , Chen, Zhong , Mhaisalkar, Subodh Gautam , Damayanti, M. , Chen, Zhe , Prasad, K. , Zhang, Sam , Jiang, Ning . "Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2549. Print.
Gan, Zhenghao , Chen, Zhong , Mhaisalkar, Subodh Gautam , Damayanti, M. , Chen, Zhe , Prasad, K. , Zhang, Sam , Jiang, Ning . Effect of electron beam treatment on adhesion of Ta/polymeric low-k interface. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2549.